精密加工机床的直线电机驱动系统资料.docVIP

IEEE 1999年电力与驱动系统国际会议，六月 香港 永磁直线电机超精密机床的进给驱动系统 摘要-超高精密切割非黑色金属和黑色金属要求高性能的进给驱动和指挥系统来获得非常光滑的表面。通常用主轴螺母和旋转伺服提供进给驱动。非线性量如摩擦和微反弹影响表面光滑度。而直线电机用高效的PWM晶体管转换器和对同步电流的超采样技术来直接驱动回获得更好的效果。研究表明此驱动系统可适用于超精密机床的加工。 1 说明 今天自动化工业的精密制造技术主要用于打磨机械部件。为了满足日益增长的需求就经济和生态工业加工工艺提出新的要求,可替代今天的研磨、搪磨过程。超高精密机床的驱动系统的要求完全不同于传统的进给驱动系统。一个平滑的运动在低速范围下速度降低到1微米/每秒，位置行进1微米。被控电机的位置噪声必须小于20纳米。无摩擦带来的扰动影响的运动是必要的，并且由切削力引起的位置误差必须通过快速和严格的控制保持在尽可能小的范围内。再者，进给位置的垂直运动必须尽可能的小。 传统的带有旋转伺服电机和主导主轴螺母（行星球或roller-screw驱动）进给驱动系统被认为有高的质量，但在非线性情况下质量却不高，例如摩擦，微反弹或倾斜误差。 把直线电机应用于高精密机械没有先例。直线电机通常用于高速加工。半导体工业的高速切削、高动态定位。这些电机在高动态和简单设计上有很大优势，但也出