材料电子显微技术详解.ppt

技术参数 1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV) 2.加速电压：0.1KV-30kV 3.放大倍数：25-100万倍 4.样品室尺寸：最大200mm直径样品 5.束流强度：10-13到2*10-9 冷场发射扫描电子显微镜（Cold Field Scanning electron microscope） 型号：JSM-7500F 主要特点 1.主动式减震器； 2.最先进的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护 ；3.标配的五轴马达驱动全对中样品台； 4.全自动样品更换气锁； 5.全自动样品监控系统 ；6.全自动物镜光阑； 7.多通道显示系统； 8.自动减速系统标准配置； 技术参数 1.分辨率：1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV) 2.加速电压：0.5KV-30kV 3.放大倍数：10-500K 4.大束流高分辨5nA，WD10mm,15kV时分辨率3.0nm 5.束流强度：1pA到200nA 主要特点 1.浸没式热场发射电子枪，束流强度最大200nA； 2.无漏磁物镜设计，便于磁性样品观测和EBSP观测不变形； 3.自动光阑角控制器,无需调整光阑； 4.全自动控制聚焦、合轴、消像散、控制扫描速度； 5.适于配合多种分析性探头； 热场发射扫描电子显微镜（thermionic Field Scanning electron