氮化硅薄膜制备技术及其在太阳能电池中的应用创新.docVIP

目 录 摘要 ABSTRACT 第一章 前言 (1) 1 太阳能电池的发展前景 (1) 1.1 能源危机 (1) 1.2 可再生能源 (1) 2 太阳能电池的发展趋势 (2) 3 氮化硅在太阳能电池上的作用 (3) 3.1 减反射作用 (3) 3.2 钝化作用 (4) 3.2.1钝化原理 (4) 3.2.2 氢钝化技术 (4) 第二章 氮化硅的常见制备方法 (5) 4 氮化硅薄膜的特性 (5) 5 薄膜的生长机理 (5) 6 CVD法制备氮化硅薄膜 (6) 6.1 常压热化学气相沉积（APTCVD）法 (6) 6.2 低压热化学气相沉积（LPTCVD）法 (6) 6.3 块热化学气相沉积（RTCVD）法 (6) 6.4 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法 (6) 7 物理气相沉积（PVD）法 (7) 7.1 离子束增强沉积（IBED）法 (7) 7.2 磁控反应溅射法 (7) 第三章 实验 (8) 8 退火温度对样品光致发光特性的影响 (8) 参考文献 (9) 第四章 总结与展望 (10) 致谢 (10) 氮化硅薄膜制备技术及其在太阳能电池中的应用 学 生：张小龙 指导教师：姜礼华 （材料与化工学院）化学工程与工艺 摘要：氮化硅薄膜是一种多功能材料，在许多领域有着广泛的应用。本课题主要综述氮化硅薄膜作为减反膜和钝化膜在太阳能电池中的应用，并总结其在太阳能电池应用中所采用的制备方法和制备技术。 关键词：氮化硅薄膜；减反膜；钝化膜；太阳能电池；制备方法 Silicon Nitride Thin Films and Their Application in Solar Cells Student：zhangxiaolong Tutor：jianglihua (College of Three Gorges University, Hubei Yichang) Chemical Engineering and Technology) Abstract ：The silicon nitride film is a versatile material in many areas has been widely used. This paper mainly reviews the silicon nitride film as the anti-reflection film and the passivation film used in solar cells, and summarize their preparation methods and preparation techniques in solar cell applications used. Keywords： silicon nitride film; anti-reflection film; a passivation film; solar cells; Preparation method 第一章 前言 1 太阳能电池的发展前景 1.1 能源危机 能源问题，环境问题是21世纪世界面临的两大主要问题。目前，全球75%的能源来源于煤炭，石油，天然气等传统石化资源。然而，这些资源都是不可再生资源。1997年由全球150多个国家签署的《京都协定书》要求各国改变能源利用方式，向新型可再生能源方向转变，以减少有害气体的排放，改变全球社会发展与能源资源短缺和环境污染严重的矛盾，实现人类社会的可持续发展。自从我国改革开放至今，在经济高速发展的带动下，我国已成为世界能源消耗大国，但是也是世界上生产能源最大的国家之一。预计2030年，中国的能源需求量将在30亿吨标准煤左右，同比2010年增加了近100%。按这样的需求量算，到2030年我国的能源供应远远不能满足能源的需求，将会出现很大的能源需求的缺口，严重制约了中国的经济发展。因此，要满足社会的发展，光靠传统的煤炭，石油等传统能源是非常不明智的，我们应该将目光放的更长远，可再生新能源将重新出现在人们的视线中，为了打破能源对全球社会发展的枷锁，维持人类社会的可持续发展，可再生新能源是人类的唯一选择。 1.2 可再生能源 可再生能源指除常规化石能源和大中型水利发电、核裂变之外的太阳能、生物质能、风能、地热能及海洋能等。可再生能源不同于常规的化石能源，具有资源储藏量丰富、分布面积广泛、清洁、对环境基础不同产生污染、可不短再生、永续利用、适宜就地开发、非常有利于生态环境的良性循环和可持续发展等优势，世界各国对可再生的发展都日益重视。 我国根据《可再生能源中长期发展规划》确定了我国可再生能源发展的中长期目标。有如下三点具体发展目标、气体和灰尘，造成大气污染，进而引发