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X射线光电子能谱分析X-ray Photoelectron Spectroscopy FUNSOM 江林组 内容提要 简介 XPS基本原理 电子能谱仪介绍 化学位移及其影响因素 XPS的应用 简介 用X射线作辐射源的电子能谱称光电子能谱。 俄歇Auger电子能谱法(AES) 包括 X射线光电子能谱法(XPS) X射线荧光光谱(XFS) 一.光电子能谱基本原理（光电效应） XPS测量的是由X射线源激发而电离出来的光电子的能量。周期表中每一种元素的原子内层的结合能都是特征的，故用XPS可以获得元素的总类和含量信息。 1.电离过程 包括：光电离和电子束电离。 (1).光电离:光电离过程表示如下 M(分子或原子)+ hν(X-ray) M+（离子）+e-(自由电子) 光电截面：光电离过程产生的光电子强度与整个过程发生的几率有关，这种几率称为光电截面(σ)。 σ与入射光子的能量、受激原子的原子系数以及原子中电子所在的轨道有关。当光源能量固定时，主量子数n值相同(同一周期)，同一壳层的σ随着原子序数的增加而增加。由于价电子对X射线的光电截面远小于内