金属材料常用方法技术方案.pptVIP

～Confidential and Proprietary～ ～Confidential and Proprietary～ ～Confidential and Proprietary～ * * Ver1.0 金属材料常用分析检测方法 * * GDMS 辉光放电质谱法（glow discharge mass spectrometry，GDMS）：将具有平整表面的被测样品作为辉光放电的阴极，样品在直流或溅射或脉冲辉光放电装置中产生阴极溅射，被溅射的样品离子离开样品表面扩散到等离子体中，通过各元素质荷比和响应信号的强弱，对被分析元素进行定性和定量分析的一种分析方法。 主要组成：离子源、质量分析器、检测系统 质量分析器 进行能量分离，并由电磁质量分析器基于质荷比进行质量分离。 * * GDMS 优缺点 优点 直接分析固体样品，样品的制备和处理简单；不需要将样品处理成水溶液进行分析 可进行全元素分析，可分析元素周期表上的70多种元素，从轻元素到重元素都具有极高的灵敏度 元素检出限低，可以满足6N或7N以上超纯半导体材料的分析要求 采用很方便的进样杆推进式进样方式，更换样品时不必破坏离子源的真空 可满足多种尺寸的棒状或块状固体样品的分析需要 缺点 对样品的尺寸形状要求较高，制样时要求样品必须有一个直径15mm或以上的平面区域、且样品表面平整，粗糙度较小 要求样品表面光滑平整，否则样品与密封