低温等离子体处理仪-苏州大学纳米材料与技术实验教学中心.doc

苏州大学申购大型精密仪器设备 可行性论证报告 (10万元～40万元) 仪器名称 低温等离子体表面处理仪 申请单位 材料与化学化工学部 负 责 人 朱秀林 填表时间 2008年 11 月 14 日 一、申购仪器设备概况 仪器设备 名 称 中文 低温等离子体表面处理仪 外文 Low Temperature Plasma Surface Treater 型 号 厂 商 参考单价（万元） 数 量 总 价（万元） DT-03 苏州奥米格机电科技有限公司 25.3 1 25.3 主要技术指标（含仪器设备的详细配置） 1、电容偶合式 2、13.56MHz固态等离子发生电源 3、300W功率连续可调 4、自动网络阻抗匹配 5、电子计时装置 6、数字式真空测量 7、触摸屏/PLC自动控制 8、 双路质量流量计流量控制 9、手动/自动操作 10、2路工作气体、1路放空 详细配置 序号 部 件 尺寸（规格或数量） 材 料 1 处理腔体 直径（mm） Φ160 石英玻璃 深度（mm） 210 端 盖 平移式 铝合金 2 真空系统 真空泵 2XZ-4型 组合件 电磁真空阀 3个 铝合金 管 路 Φ25 波纹管 不锈钢 3 进气系统 2路工作气体，一路放空，一路接枝 组合件 4 真空测量系统 数显真空计 适配 5 电极系统 电容耦合式外电极 组合件 6 计时器 电子计时，带报警器 组合件 7 电 源 13.56MH、300W晶体管等离子发生电源 组合件 8 匹配系统 全自动网络自动匹配 9 样品放置方式 悬挂式或平放式 玻璃板 10 控制方式 电钮控制触摸屏+PLC 组合件 11 控制和仪表柜 标准电柜650×500×400 mm 喷塑 经费来源 用 途 教学 □ 科研 □√ 其它 □ 安装（放）地点 材料与化学化工学部 管理人 张正彪 注：“经费来源”指教学设备经费、示范中心建设经费、中央与地方共建经费、重点学科建设经费、科研项目经费、211工程建设费、专项经费等。 二、安装使用的环境及设施条件 请说明是否具备安装条件或拟改造要求 设备安装所需水、电具备，摆放空间和安放台面具备。 设备工作需要的气体钢瓶及输送管路需按实验室安全规范进行布置和铺设；真空泵排出气体须经排出管道排出室外。 三、购置及选型理由 购置目的（请说明购置仪器的必要性、效益预测等） 低温等离子体表面改性是利用气体电离后产生的等离子体的反应活性与材料表面发生常规液相反应难以实现的化学反应，使材料表面成分、组成和结构发生变化，从而达到表面处理和改性的目的。 在光电材料和生物材料的研究中，为了得到功能性的表面以及提高导电玻璃的表面功函，必须对基体材料表面进行表面改性。同时，表面具有亲水性（或疏水性）并要求得到某些特定的基团，只有利用低温等离子体技术才能达到改目的。 低温等离子体表面处理仪的购置，必会拓宽各种材料表明的研究内涵，提升科研的水平，并加快科研的研究进度。 2、选型理由（含兄弟院校、科研院所的使用情况） DT-03型低温等离子体表面处理仪采用自动控制及自动操作，使用方便，灵活性大，精确度高。设备拟采用独家国内技术的13.56MHz固态化晶体管电路设计，电源体积小，稳定性高，寿命长；系统的阻抗匹配能自动跟踪调整，无需手工调节，工况稳定，结构紧凑；电源功率调节简单、准确；处理时间自动控制，可以精确控制处理时间，比较适合于科研使用，且相对于其他型号的设备而言，其价格也相对较低。 目前，东华大学、浙江大学、东南大学、清华大学以及中科院化学所和材料所等十余家院所在使用类似型号的设备，使用情况较好。 3、市场调研情况（请按优先顺序提供不少于三家国内、外厂商同类仪器设备的性能、价格比较） 苏州奥米格机电科技有限公司生产的DT-03型低温等离子体处理仪采用触摸屏/PLC控制，过程控制全部自动化。设备采用13.56 MHz固态化晶体管等离子体发生电源，系统的阻抗匹配能自动跟踪调整，无需手工调节，设备体积小，稳定性高，寿命长，工况稳定。设备报价25万元。 常州中科常泰等离子体科技有限公司生产的HD-1型等离子体处理仪，采用电子管等离子体发生电源，体积大，重量重，系统的阻抗匹配为手动调节，设备报价约15.5万元。13.56 MHz晶体管电源加系统的自动阻抗匹配，设备的报价约为35万。 北京嘉润通力科技有限公司生产的5型等离子清洗/刻蚀机清洗/刻蚀 地址：江苏省常州市科技园2号楼创业中心A座417 邮编：213000 电话：051986900935? 传真：0519E-mail:shitai@ 手机：13813699136