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电容测试操作指南
目 录
1. 目的 2
2. 测试设备设定 2
3. 测试操作方法 5
4. 测试操作人员： 6
5. 版本说明 6
目的
本文件用于指导测试人员正确使用LCR测试仪，测量元器件引脚电容。适用于本公司集成电路元器件引脚电容测试环节。
测试设备设定
测试设备LCR测试仪3532-50。实物图如下图，按颜色标志接好测试探头后，按下右下角Power键打开设备电源：
开机后界面如下图，点击触摸屏上的MENU按钮，可以进入设定界面：
点击触摸屏上的MENU按钮，进入设定界面。如下图：
点击触摸屏上的FREQ按钮，设定频率。进入频率设置界面后，点击数值下方的向上或向下的箭头，即可增大或者减小对应位的数值。例如：点击红色圆圈中的向下的箭头，即可减小个位数的数值。图中频率设定为1MHz，如下图：
频率设定完毕，点击右下角EXIT按钮退回主界面。并点击LEVEL按钮，设定电压。如下图：
进入电压设定界面，点击数值下方的向上或向下的箭头，即可增大或者减小对应位的数值。例如：点击红色圆圈中的向下的箭头，即可减小小数点后第一位数的数值。图中电压设定为0.1V，如下图：
设定结束后，点击右下角EXIT按钮，返回量测主界面。建议采用的设定：频率设定为1MHz，电压设定为0.1V。如下图红色圆圈所示：
测试操作方法
将芯片平放在防静电工作台上，测试操作人员戴上防静电环，然后将LCR测试仪测试探头两端分别接触Vss和需要测试的管脚。实例：下图中是一颗JFM29LV010样片，探头两端接芯片的A16和Vss，测试的是A16管脚的CIN电容值：
读取数据：观察LCR测试仪显示面板，显示面板上的Cp项测试值即为电容测试结果。例如下图左侧红色圆圈中所示，读取实测值等于10.371pF，并记录数据。同理，对照芯片引出端排列图表，可以依次测得其它待测管脚的电容值。右侧红色圆圈中显示的是当前的频率、电压测试条件。如图所示：
测试操作人员：
军用产品成品测试操作人员是军品检验员，民用产品成品测试操作人员不做特别规定。
除另有规定以外，军用产品成品引脚电容测试仅在初始鉴定或产品重新设计及工艺更改时进行抽样方案 日期 简要说明 1/0 2014.4.22 首次编写。
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上海复旦微电子集团股份有限公司
操作指南
电容测试操作指南 编号：FM QA DRCSCZZN 批准日期： 主管部门：质量管理部 版本/改次：1/0 第 1 页 共 6 页
编写： 审核： 批准： 日期： 日期： 日期：
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