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特种加工理论与技术课程 微细电解加工发展方向研究 2015年12月3日 目录 超纯水微细电解加工 微细电解群孔加工 脉冲微细电解加工 微细电解线切割加工 电液束加工 电液束加工 最早是GE 公司在20 世纪 60 年代研究航空发动机叶片气膜冷却孔加工技术研发成功的。 电液束加工是利用喷嘴喷出带电的电解液进行加工的一种微细电解加工方法。 图1.航空发动机叶片中的横向连通孔、干涉孔及深小孔 图2.电液束加工示意图 电源：100-1000V 高压直流 电解液：浓度一般为 10%~25%，压力一般为0.3MPa~1.0MPa 机理尚不清楚 阳极金属溶解+化学加工 实际去除金属量远电化学作用去除的金属量(法拉第定律)+化学作用对金属去除量的总和 一般认为，其材料去除是在高电位梯度和加工区域局部高温条件下的电解作用、化学腐蚀和放电等多种因素复合作用 电液束加工原理 图3.电液束加工过程中辉光放电现象 电解液在加工时产生的热量作用下被气化,在射流束和小孔孔壁之间的微小空气间隙内形成一层气体膜，当电压达到一定数值 ,气体膜被击穿,形成了气液接触辉光放电。 电液束加工原理 图4.微小孔电液束加工系统装置实物图 电液束加工原理 电液束加工方式 无进给——电喷射加工 孔径不受电极尺寸限制，可加工出很小的孔 电压150-850V 有进给——电射流打孔 可加工孔间距更小的孔 电压100V左右，电解液压力更大，最大压力1.4Mpa 图5.电喷射加工示意图 图6.电射流打孔示意图 电液束加工工艺特点 可达性好 可实现无再铸层、无微裂纹的小孔加工 加工的孔进出口光滑,,加工表面粗糙度值低(一般为3.2～0.8μm) 可加工出更小的孔：送进法-0.125 mm,不送进法-0.025 mm 无应力，可切割薄壁零件 图7.电液束加工的深微孔（直径40微米） 超纯水微细电解加工 背景：传统电解加工的电解质具有腐蚀性 污染环境 超纯水电解加工是在常规电解加工原理的基础上，利用超纯水作电解液，并采用强酸性阳离子交换膜来提高超纯水中氢氧根离子的浓度，使电流密度达到足够去除材料的一种新型电解加工工艺方法。 图8. 传统电解加工示意图 超纯水电解加工 用超纯水作电解液 用强酸性阳离子交换膜提高超纯水中氢氧根离子浓度 加工原理 电流密度 纯水 超纯水（强酸性阳离子交换膜） 超纯水（强酸性阳离子交换接枝聚合纤维） 图9.离子通过膜电位差与电流密度关系图 水解离理论分析 1区：欧姆区，电流密度与电位差关系满足欧姆定律 2区：电流密度稳定，为极限电流密度，电阻增大 3区：过极限电流区域，水解离产生氢氧根离子和氢离子 加工影响因素 超纯水电解加工同常规电解加工一样, 电流密度受到电场强度、温度及气泡率等因素的影响, 特别是气泡率对于超纯水电解加工的影响更大。 图10.超纯水电解加工出 通孔示意图 微细电解群孔加工 微细群孔阵列：在工件材料上加工出的数目众多、直径微小、轴线与工件表面垂直、均匀分布排列成阵列的密集微小孔结构。 图a.喷丝板 图b.精细金属滤网、筛分网 图11.微小群孔结构的应用实例 群孔加工方法比较 加工方法 优点 缺点 精密机械加工 生产效率、加工精度高；不受材料导电性能限制 工具损耗；残余应力；变形 激光加工 不受材料硬度影响；速度快、效率高 小孔表面粗糙度差、存在一定锥度；存在热影响区，工件易变形翘曲 LIGA加工 取材比较广泛、能制造出高深宽比的微结构、可以制作复杂图形结构 工艺过程繁复、准备周期长、设备昂贵 电火花加工 不受材料刚度和强度限制；对工具的刚度和强度要求低 存在热影响区，薄壁件容易变形；加工效率低 电液束加工 具有可达性、表面完整性好，无切削应力 定域性差，很难进行微小孔的加工 掩膜电解加工 高品质、无应力 胶膜不能重复使用，加工成本高 表1.群孔加工方法比较 阴极活动模板电解加工原理 图12.阴极活动模板电解加工原理示意图 电化学氧化还原反应： 阳极（工件）表面金属原子失电子成为阳离子进入电解液 阴极表面氢离子得电子析出氢气 电解液高速流过，排出电解产物及热量，保证加工正常进行。 阴极活动模板电解加工原理 图13.阴极活动模板双面电解加工原理示意图 双面电解的加工间隙变小 电解液从两侧同时冲刷加工区域 加工区域的深度只有单面加工的一半 阴极活动模板双面电解加工特点 工具电极无损耗 加工效率高 工具与工件不发生直接接触，加工表面质量好 可加工材料范围广 加工孔的锥度小 可成型范围宽 (a) 单面加工时所加工群孔 (b) 双面加工时所加工群孔 图14.加工方式不同对群孔精度的影响 加工精度影响因素 加工间隙：增大加工间隙 电解液：降低电解液浓度