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第2章电阻式传感器原理与应用 2.1 应变式传感器 2.1.1 金属电阻应变片的工作原理 2.1.2 电阻应变片的特性 2.1.3 电阻应变片的测量电路 2.1.4 电阻应变片传感器的应用 2.2 压阻式传感器 2.2.1 半导体的压阻效应 2.2.2 体型半导体电阻应变片 2.2.3 扩散型电阻式压力传感器 2.2.4 压阻式加速度传感器 2.2.5 测量桥路及温度补偿 上一页 返 回 下一页 2.1 应变式传感器 2.1.1 工作原理 2.1.2 金属应变片的主要特性 2.1.3 测量电路 2.1.4 应变式传感器应用 2.1.1 工作原理 1.金属的电阻应变效应 电阻应变效应：当金属丝在外力作用下发生机械变形时 其电阻值将发生变化 F Δl、ΔA 、Δρ ΔR 电阻的灵敏系数 对于半径为r的圆导体，A=πr2，ΔA/A=2Δr/r 又由材料力学可知，在弹性范围内， ε为导体的纵向应变，其数值一般很小，常以微应变度量； μ为电阻丝材料的泊松比，一般金属μ=0.3~0.5； λ为压阻系数，与材质有关；σ为应力值；E为材料的弹性模量； 金属电阻的灵敏系数 材料的几何尺寸变化引起的 材料的电阻率ρ随应变引起的（压阻效应） 金属材料：k0以前者为主，则k0≈1+2μ=1.7~3.6 半 导 体：k0值主要是由电阻率相对变化所决定 2. 应变片的基本结构与种类 敏感栅 直径为0.025mm左右的合金电阻丝 丝绕式 基 底 绝缘 覆盖层 保护 位移、力、力矩、加速度、压力 弹性敏 感元件 应变 外力作用 被测对象表面产生微小机械变形 应变片敏感栅随同变形 电阻值发生相应变化 应变片 应变片的类型和材料 金属丝式 金属箔式 金属薄膜式 回线式 短接式 金属丝式应变片 金属电阻丝应变片的基本结构 1-基片；2-电阻丝；3-覆盖层；4-引出线 金属电阻应变片，材料电阻率随应变产生的变化很小，可忽略 应变片电阻的相对变化与应变片纵向应变成正比， 并且对同一电阻材料， K0=1+2μ是常数。 其灵敏度系数多在1.7～3.6之间。 金属箔式应变片 在绝缘基底上，将厚度为0.003～0.01mm电阻箔材，利用照相制板或光刻腐蚀的方法，制成适用于各种需要的形状 箔式应变片 优点 ： （1）尺寸准确，线条均匀，适应不同的测量要求， （2）可制成多种复杂形状尺寸准确的敏感栅 （3）与被测试件接触面积大，粘结性能好。 散热条件好，允许电流大，灵敏度提高。 （4）横向效应可以忽略。 （5）蠕变、机械滞后小，疲劳寿命长。 缺点： 电阻值的分散性大 阻值调整 金属薄膜应变片 采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1μm以下的金属电阻材料薄膜敏感栅，再加上保护层，易实现工业化批量生产 优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大，工作范围广，易实现工业化生产 问题：难控制电阻与温度和时间的变化关系 2.1 应变式传感器 2.1.1 工作原理 2.1.2 金属应变片的主要特性 2.1.3 测量电路 2.1.4 应变式传感器应用 2.1.2 金属应变片的主要特性 （一）灵敏系数 （二）横向效应 （三）温度误差及其补偿 应变片的电阻值 R 应变片在未经安装也不受外力情况下，于室温下测得的电阻值 电阻系列：60、120、200、350、500、1000Ω 可以加大应变片承受电压， 电阻值大 输出信号大， 敏感栅尺寸也增大 （一）灵敏系数 “标称灵敏系数”：受轴向单向力（拉或压），试件材料 为泊松系数μ=0.285的钢等。一批产品中只能抽样5％的 产品来测定，取平均值及允许公差值。 电阻应变片的灵敏系数k 电阻丝的灵敏系数k0 粘结层传递变形失真 还存在有横向效应 原因： （二）横向效应 敏感栅是由多条直线和圆弧部分组成 直线段：沿轴向拉应变εx，电阻 圆弧段：沿轴向压应度εy 电阻 K (箔式应变片) l εy εx εy 横向效应 应变片的横栅部分将纵向丝栅部分的电阻变化抵消了一部分，从而降低了整个电阻应变片的灵敏度，带来测量误差，其大小与敏感栅的构造及尺寸有关。敏感栅的纵栅愈窄、愈长，而横栅愈宽、愈短，则横向效应的影响愈小。 （三）温度误差及其补偿 1、试件材料的线膨胀引起的误差。