超纯水系统摘要.ppt

* 离子交换塔之外观 * 一级处理装置(五)-离子交换装置3 2B3T系统: 常用之设计概念，处理水质可得导电率10 μs/cm ，SiO2 0.1mg/L的水。 当树脂上的官能基都被吸附的离子占满时，称做饱和。此时须分别以酸(如HCl)与碱(如NaOH)注入阳、阴离子当中，将其还原为H+及OH-始可利用。 * 二级处理(精炼段)装置概述 一级处理后的水质可达到和蒸馏水相当等级，比阻值可达15 MΩ-cm以上，TOC和SiO2分别降至50及10ppb。而精炼段之目的则是将比阻值提升至18 MΩ-cm以上，TOC和SiO2分别降至25及5ppb以下。为达此目的常使用的单元有(1)185nm UV，(2)精炼(Polisher)混床树脂，(3)超过滤膜(Ultra filtrtion ，UF)。 * 半导体级精炼树脂 Polisher  精炼混床树脂桶内填装着强酸型与强碱型树脂，皆为半导体纯水等级，当水质之比电阻值下降或SiO2增高时，则需将树脂更换而不进行再生。此单元为对超纯水含盐量的严密把关。 通常纯水进入精炼树脂前，会先以波长185nm之紫外光将水中有机物裂解成有机酸及CO2，再利用精炼树脂去除有机酸及CO2所形成之碳酸。 * 半导体级精炼树脂 Polisher 外观 * 超过滤设备-UF 1 经精炼混床塔后，纯水再进入两组超过滤设备。此单元是超纯水系统的最