离子刻蚀机自控化开发可行性报告分析.docVIP

离子刻蚀机简介 离子刻蚀的原理 用具有一定能量的离子束轰击带有掩模图形的固体表面，使不受掩蔽的固体表面被刻蚀，从而将掩模图形转移到固体表面的一种微细加工技术。利用惰性气体离子(如氩离子)在固体表面产生的物理溅射作用来进行刻蚀，一般即称为离子束刻蚀。这种刻蚀方向性好，刻蚀精度高，可刻蚀任何材料，包括化学活性很差的材料图是离子束刻蚀机的示意图。在离子源中，惰性气体氩（压强为1～10-2帕）被电离而形成等离子体，引出加速系统是一组具有不同电位的多孔栅极，用来抑制电子并引出离子束。在引出加速系统和靶面之间有一个热灯丝中和器，它发射电子使离子束中和，从而避免正离子轰击绝缘体表面产生电荷积累，减小正离子空间电荷的发散作用，使离子束的均匀性得到改善。靶可以倾斜和旋转。靶的倾斜是为了改变离子束轰击基片的角度，以控制刻蚀图形侧壁的倾斜角度和改变刻蚀速率。靶的旋转则可以改善刻蚀的均匀性。在离子束刻蚀机中，决定刻蚀特性的主要参量是离子束的电流密度，离子能量和离子束轰击基片的角度。这些参量可以独立控制，所以离子束刻蚀具有很大的工艺灵活性。 ML-F020ICB 测控版 该板为西安铭朗科技有限责任公司生产，它具有外围接口丰富的特点，经过选择，它比较适合作为电控系统的测控板，它的使用会节约开发成本，简化开发周期。 该板为整个电控系统的核心，它分为两种工作模式， 手动工作模式 这种模式与现在的电控系统的使用模式相似。它一方面循环检测信号板的各种模拟量信号，开关量信号，另一方面循环检测用户从计算机发来的控制指令，并根据指令将参量发给计算机或根据指令对电控柜施以控制信号。 自控工作模式 这种模式可实现刻蚀的真正的自动化，它循环检测信号板的信号，并根据事先输入的流程对电控柜进行控制。 测控板的编程软件 Keil vision 3, 必须有等到购买到它对应仿真器才可进行调试。 信号转换板 该转换板需要自己自行设计，将电控柜的信号转换为测控板所需的0~5V, 0~3.3V. 电控柜 需要对该控制柜进行适当的改造，以便和转换板匹配。 信号转换板的开发 8255 工作在 方式 0.