第一薄膜概述分析.pptVIP

1.0 薄膜的定义 1.1 薄膜的例子 1.2 薄膜的特性 1.3 薄膜的分类 1.4 薄膜材料的研究进展 1.5 薄膜的应用举例 1.6 薄膜中的缺陷 第一章 绪论 什么是“薄膜”（thin film） 过去人们常用厚度来描述，把厚度为零点几纳米到几个微米的一层材料定义为薄膜。 新定义：通过原子、分子、离子的沉积过程，在基片上所得到的二维材料。 1.0 薄膜的定义 1.2 薄膜的特性 用料少，成本方面考虑 新的效应 新的材料 容易实现多层膜 薄膜和基片的粘附性 薄膜的内应力 缺陷 1.2 薄膜的特性 2.新的效应 同块体材料相比，由于薄膜材料的厚度很薄，很容易产生尺寸效应，就是说薄膜材料的物性会受到薄膜厚度的影响。 某一维度很小、比表面积大 例：表面和界面效应、耦合效应 部分薄膜具有纳米效应 1.2 薄膜的特性 3.可以获得体态下不存在的异常结构和非化学计量比结构 薄膜的制法多数属于非平衡状态的制取过程，薄膜的结构不一定和相图相符合。 规定把与相图不相符合的结构称为异常结构，不过这是一种准稳（亚稳）态结构，但由于固体的粘性大，实际上把它看成稳态也是可以的，通过加热退火和长时间的放置还会慢慢地变为稳定状态。 Diamond: 工业合成, 2000℃，5.5万大 气压, CVD生长薄膜:常压，800度. 1.2 薄膜的特性