扩散炉的安装调整课件.pptVIP

扩散炉的安装调整（4） 扩散炉的背灰区服务面 扩散炉背面的尾气箱。为保证顶部抽风排除微量漏出的尾气的作用，平时尾气箱门必须关闭。 调整碳化硅桨的位置 调整碳化硅桨的仰角和左右水平 调整不锈钢门的位置 碳化硅桨和不锈钢炉门位置的调整 碳化硅桨和不锈钢炉门位置的调整 不锈钢收集槽 舌头要保证滴下的偏磷酸全被收集到不锈钢和石英收集槽中 偏磷酸的收集 我们的扩散炉是以密封炉盖的加压工作方式保证炉盖的密封是保证扩散工艺重复性的基础。保证尾管接口和炉盖的密封也是为安全和设备寿命所必需的。 扩散炉的尾气管是我们检查炉管密封的地方当炉盖密封不好时，尾气从炉口泄露而出，从尾气管流出的尾气减少，因而尾气管的温度下降。因此，在每班应检查每个炉子尾气管的温度，及时发现漏气，及时调整炉门密封。 用手触摸尾管来感知尾管的温度。注意不要烫伤手指。 石英炉盖与石英炉口的密封 炉盖与炉口的密封可用一个橡皮圈实现。但橡皮圈不能承受超过一千度的高温，而且橡皮圈也不能保证炉口密封的效果。 然而，实践中发现，没有橡皮圈也可以达到密封的效果。但要保证炉口没有碎硅片或磷源的干块等物体。 炉管口的清洁维持 炉管口要保持清洁。要经常观察炉口的状态，用手触摸橡皮圈以发现缺口或硬块，损坏的橡皮圈要及时更换，完好的橡皮圈要经常清理。 清理时炉温要降到200-300度，硬块、碎硅片用石英片刮除。再用超净布打湿去离子水擦干净。同时