Auto-Match0613用户手册(第二版).docVIP

用户手册 Auto-Match 0613 13.56MHz 600W 目录 第一章 产品简介及理论简介 3 第一节 产品简介 3 第二节 拓扑结构 4 图1-1所示为基本的L型拓扑结构。 4 图1-2所示为Auto-Match自动匹配器常用的L型拓扑结构。 4 图1-3所示为基本的Gamma型拓扑结构。 5 第二章 产品规格 6 第一节 产品外观及尺寸 6 图2-1所示为Auto-Match 0613的前面板外观图及尺寸。 6 图2-2所示为Auto-Match 0613的侧面板外观图及尺寸。 6 图2-3所示为Auto-Match 0613的后面板外观图及尺寸。 7 第二节 产品使用间距的要求 7 第三节 产品规格表格 7 表2-1所示为Auto-Match 0613的尺寸。 8 第四节 产品电气规格表 8 表2-2示为Auto-Match 0613的电气规格 8 第五节 散热及环境规格 9 表2-3示为Auto-Match 0613的散热及环境规格。 9 第三章 产品的通讯接口及控制 9 图3-1示为User Port 15个脚的图示。 10 第四章 产品安装及调试 11 第一节 产品安装的基本考虑 12 第二节 产品安装的接地连接 12 第三节 安装时与电极的连接 13 第四节 安装方式 13 第五节 调试及使用 13 第六节 手动匹配调节 14 表4-1示为前面板上五个开关的功能说明。 14 第五章 故障修理及售后服务 14 第六章 产品安全规范 16 第一节 用户手册中安全标识 17 第二节 安全指引及安全标志 17 第三节 安全使用条件 17 第一章 产品简介及理论简介 本章将主要介绍Auto-Match 0613 包括产品简介及理论简介。 第一节 产品简介 Auto-Match自动匹配器是设计用来将等离子体腔体工作时的阻抗（容性或感性）自动转换成为能使射频功率源输出最大功率的状态。Auto-Match自动匹配器是设计为频率范围为1MHz至81MHz，功率范围为100W至10kW的射频功率源提供能使其输出最大功率的阻抗。 Auto-Match自动匹配器采用了优化算法能在根据负载的阻抗调节电容转速的同时避免目前PECVD设备中普遍存在的多匹配器之间的干扰问题，达到更快更精确的匹配效果而且提高了Auto-Match自动匹配器的稳定性及使用寿命，能在0.5至3秒内完全匹配，能使反射功率不高于入射功率的1%。（详情参看第一章） Auto-Match自动匹配器主要采用L型拓扑结构（详情参看第一章第三节），具有较宽的匹配范围（详情参看第二章），甚至是很小的阻抗；能广泛地使用与各种容性或感性的阻抗；典型应用于等离子体刻蚀，PECVD，射频溅射、平行板、射频激光、ICP、RIE、CVD和PVD等半导体及太阳能薄膜的典型工艺； Auto-Match自动匹配器使用能耐大电流，高电压的真空功率器件，使其能工作在大电流和高电压的情况下，同时这些真空功率器件能为Auto-Match自动匹配器提供比空气电容更加精准的匹配，从而大幅度地减少了反射功率。 Auto-Match自动匹配器能实时监控等离子腔体的自偏压，为射频功率源提供实时的自偏压信号； 第二节 拓扑结构 阻抗匹配有多种不同的拓扑结构，包括L型，π型，Gamma型，T型等不同拓扑结构。 Auto-Match自动匹配器使用了两种不同的拓扑结构。第一种为L型拓扑结构，第二种为Gamma型拓扑结构。 L 型拓扑结构 图1-1所示为基本的L型拓扑结构。 基本的L型拓扑结构采用了两个可调元器件，并联可调电容和串联可调电感，来调节阻抗匹配。 图1-2所示为Auto-Match自动匹配器常用的L型拓扑结构。 Auto-Match自动匹配器在基本的L型拓扑结构的基础上增加了可抽头电感和串联可调电容，有效地增大了Auto-Match自动匹配器 阻抗匹配范围和提高了能有效工作的功率。 Gamma 型拓扑结构 图1-3所示为基本的Gamma型拓扑结构。 Gamma型拓扑结构将串联可调电容调整到并联可调电容之前。 第二章 产品规格 本章将主要介绍Auto-Match 0613的产品规格。 第一节 产品外观及尺寸 图2-1所示的Auto-Match 0613前面板上的Auto/Manual选择开关，Series Cap Shunt Cap显示屏，Up Down 选择开关均可根据客户的具体需要选择保留或通过User Port来控制。 图2-1所示为Auto-Match 0613的前面板外观图及尺寸。 图2-2所示的Auto-Match 0613 侧面板上风扇可根据客户阻抗所需的匹配器散热需求选择。 图2-2所示为Auto-Match 0613的侧面板外观图及尺寸。 图2-3所示的Au