力和压力检测系统剖析.pptVIP

压阻式传感器是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过检测电路就可得到正比于力变化的电信号输出。 压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的检测和控制。 任务二 压阻式压力传感器的应用 压阻效应：当力作用于某些硅晶体时，晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化，电阻率发生变化。 一、压阻式压力传感器 任务二 压阻式压力传感器的应用 压阻式压力传感器：周边固定支撑的电阻和硅膜片的一体化硅杯式扩散型压力传感器。 优点是： 频率响应高,适于动态检测 体积小，适于微型化，可集成到一个芯片上 精度高，可达0.1～0.01 灵敏高, 有些应用场合可不加放大器 无活动部件，可靠性高 任务二 压阻式压力传感器的应用 任务二 压阻式压力传感器的应用 压阻式压力传感器广泛地应用于航空航天、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震检测等各个领域。 任务二 压阻式压力传感器的应用 二、压力传感器检测常识 任务二 压阻式压力传感器的应用 1. 负压和绝压检测 3. 2. 漂移及影响传感器漂移的因素 精度 1.负压和绝压检测 图5-17所示为负压检测压力图，负压传感器也称为表压传感器，传感器两端均连接至大气，两端受到大气压