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3.4 电容式传感器 3.4.1 电容式传感器的工作原理 3.4.2 电容式传感器主要性能 3.4.3 电容式传感器的特点和设计要点 3.4.4 电容式传感器等效电路 3.4.5 电容式传感器测量电路 3.4.6 电容式传感器的应用 3.4.7 容栅式传感器 3.4.6 电容式传感器的应用 (1) 电容式差压传感器 (2) 电容式振动位移传感器 (3) 电容式加速度传感器 P 2 玻璃盘 镀金层 金属 膜片 C 2 电极引线 p 1 C 1 电容式差压传感器 结构简单、灵敏度高、响应速度快(约100ms) 能测微小压差(0～0.75Pa)、真空或微小绝对压力 需把膜片的一侧密封并抽成高真空(10-5Pa)即可 电容式位移传感器应用 2 3 1 B 面 A 面 5 4 6 C x 1 C x 2 1、5 －固定极板 2－壳体 3－簧片 4 －质量块 6－ 绝缘体 精度较高，频率响应范围宽，量程大，可以测很高的加速度 电容式加速度传感器 电荷平衡式位移传感器 可变电压VM与测头的位置成比例 已在类似于孔径测量仪等便携式测量工具中应用。 3.4 电容式传感器 3.4.1 电容式传感器的工作原理 3.4.2 电容式传感器主要性能 3.4.3 电容式传感器的特点和设计要点 3.4.4 电容式传感器等效电路 3.4.5 电容式传感器测量电路 3.4.6 电容式传感器的应用 3.4.7 容栅式传感器 3.4.7 容栅式传感器 (1) 基本类型及工作原理 (2) 容栅传感器电极的结构形式 (3) 信号处理方式 (4) 容栅式传感器应用 (1) 基本类型及工作原理 长容栅 圆容栅 片状 柱状 长容栅 n－动尺栅级片数 a , b－栅极片长度和宽度 C Cmax 0 a W 3a 2W x 柱状圆容栅 r2 , r1 － 圆盘栅极片外半径和内半径 a － 每条栅极片对应的圆心角（rad） (2) 容栅传感器电极的结构形式 （a）直电极反射式 （b）直电极透射式 （c）反射式L型电极 (a)直电极反射式 结构形式简单，使用方便， 移动过程中，导轨的误差对测量精度影响较大 (b)直电极透射式 测量调整方便、安装误差和运行误差的影响降低、制造安装困难 (c)反射式L型电极 增大反射电极的面积，增加耦合的电容量， 提高传感器的灵敏度，增强抗干扰能力和提高稳定性 (3) 信号处理方式 鉴幅式测量电路 系统可达到0.001mm分辨力，主要在测长仪上使用， 鉴相式测量电路 系统分辨力为0.01mm，主要在电子数字显示卡尺等数显量具上使用。
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