真空系统结构.docVIP

真空系統由許多不同的組件組合而成。如各種的閥、壓力計、腔體以及最重要的pump。 Base pressure : 一般指此真空系統能夠抽到的最低壓力。製程氣體尚未進腔體前 Process pressure : 指製程壓力。反應氣體進入腔體後，反應時所需維持的壓力。 Base pressure 會比 Process pressure 低。 閥門(Valve) : 在真空系統中用來改變氣流方向，調節氣流量大小，切斷或接通管路的元件。 Soft valve : 細（慢）抽閥，防止壓差過大而起塵。腔體於大氣時，一般先用此閥抽。 Foreline Valve : 位於pump出氣口，真空異常時，開關速度及是否緊閉是保護pump的關鍵。同時管徑小，易積塵，需定期清洗保養測試。 Rough valve : 粗抽閥，當腔體真空較低時，絕對不能打開Gate Valve用分子pump抽真空。在確認Gate Valve 和 Foreline Valve關閉的情況下，開啟Rough Valve，抽腔體真空到300 mTorr以下。 Purge gas valve : 有些製程會產生大量粉塵，因pump底部有用於冷卻pump的冷卻盤，會致大量積塵於冷卻部分，用N2吹掃可減少這方面的影響，另外也作冷卻軸承等用途。 真空閥門有幾個典型的結構如 : 隔膜閥、真空球閥、真空蝶閥、插板閥、擋板閥、電磁閥、針閥、超高真空閥、玻璃真空活塞、無油玻璃真空閥。 而真空閥門的設計也很重要。對於構成管路一部分的閥門，其流導大小是一個重要的性能參數。對於主要用來起開關氣路作用的閥門，閥板關閉的密封性能也是重要的性能參數之一。密封性能是用其漏氣率來衡量的。對於主要用來調節氣流大小的閥門，能夠調節氣流量的精度及範圍，則是一項重要的性能參數。對於全金屬超高真空閥門，每次關閉是否性能穩定?使用壽命是否長?是其主要的性能指標。 一般對真空閥門的要求 : 1. 閥門的密封性能要好，閥板密封處的漏氣率要小 2. 閥板開啟後應盡可能有較大的流導、閥門內所用材料應有較低的飽和蒸氣壓， 高抗腐蝕性能和高化學穩定性、耐磨損、壽命長，超高真空閥門應能耐烘烤(400～450℃) 3. 閥門結構要簡單，開關輕便省力，有標誌，傳動機構在高壓側 4.真空閥門的型式、基本參數、連接尺寸和技術條件應按國家專業標準執行。 橡膠墊圈: 橡膠墊圈密封是利用閥板與閥座間壓緊橡膠墊圈，依靠橡膠彈性變形填塞表面不平來實現的密封。選擇真空閥門的密封結構時應注意以下幾點：a．盡可能減少閥板下高真空側的放氣因素，例如選用放氣率小的密封墊材料等．b．關閥後密封圈截面上有最大的壓縮變形．c．結構力求簡單；d．製造方便；e．密封元件便於拆卸和修理。???閥門關閉的密封性能好壞決定於密封墊填塞閥座表面不平的程度。影響這種填塞程度的因素有二方面：a．密封墊材料的硬度和壓緊程度；b．閥座表面的粗糙度。 金屬墊圈: 針閥 或是超高真空系統中的金屬墊密封閥門。一般來說，閥板用軟金屬紫銅、無氧銅、鋁、鎳和鉛等製成，銅、鋁、鎳要預先經過退火處理。閥座用硬金屬不銹鋼等製成刀口形。它們都是依靠軟金屬受壓產生塑性變形與閥座密合達到密封的。為保證密封，每次閥板關閉時刀口的壓痕必須重合。為此除了閥板的傳動上應有精確的導向機構外，刀口尖還應倒圓。 真空閥門的選擇: ?真空閥門的傳動動力主要有手動、磁動、氣動、電動和液動。選擇閥門動力主要考慮①操作方便；②工作可靠。例如手動適合於小型的，自動化程度要求不高的和試驗用的設備上應用的閥門；而大型工業生產用的自動化程度高的設備上的閥門，則必須用磁動、氣動、電動或液壓的。一般說來，磁動閥門口徑都較小，動作較快，電磁電源也較方便；而氣動閥門突出的特點是動作快；兩者都適合於作保護性的閥門。電動(即電動機傳動的)和液壓的閥門，都是需要大動力的閥門，尤其是液壓傳動的閥門，動力小了不合適，它不像電動的閥門，常常因為電源方便而被採用。實際上，不管採用哪種動力，都必須保證閥門工作可靠。 打開閥板的先導裝置: 有的真空閥門在開啟閥板之前，需要先使閥板上下的氣壓平衡，避免壓差過大使傳動裝置超負荷而受損害，這就要用到先導裝置。先導裝置還可用來在閥板上下壓差較大的情況下，用較小的傳動力打開閥板。 壓力計 (Gauge) : 真空氣壓計（Vacuum pressure gauges）簡稱真空計（Vacuum gauges）。是依據各種物理原理來量測壓力或分子數目的多少。 依量測範圍分類 : (1)粗略真空計量測範圍：760 ~ 1Torr (2)中度空計量測範圍：1 ~ 10－３ Torr (3)高度真空計量測範圍：10 -3~ 10－7 Torr (4)超高真空計(Ultrahigh vacuum)