如何正确选择低压压力传感器.docVIP

如何正确选择低压压力传感器 Rick?Hagen, 摘要：本文详细介绍了目前市场上流行使用的各种压力传感器的性能和技术指标，并列表给出了各种传感器的优劣和适用的现场。关键词：微机械 低压 迟滞 灵敏度 非线性?微机械感测芯片已发展到对某点进行大容量的压力感测。上图为消费应用的标准1.5 mm ×1.5 mm冲模。显示在此的传感器具有温度补偿、校准和混合放大功能，可在大部分低压应用中用于监测功能。新型低压硅传感器，可以对十分之一磅/in2的应力产生响应，目前已有这种产品的生产和应用。在非常小的变化范围内，硅传感器已能测量液位压力的微弱变化或呼出物施加的压力。这些装置采用了压力感测的新型技术，可以取代很多应用的机械压力装置。但你如何能在应用中进行最好的选择呢？判断的好方法就是测试硅传感器和传统传感器间的差别，市场优势和你所用的硅传感器的技术规格。什么能正确的组成低压传感器系统?一般来说，在硅传感器中典型的压力范围在0–0.15 psi F.S.之间，常常能到上升到0–10,000 psi。厂商对不同低压的定义为，基于其传感器的设计和它们的生产过程。响应小于5 psi的传感器一般要求不同的冲模拓扑和工艺技术。根据此问题的讨论，也就是将小于5 psi的压力定义为低压范围。硅工艺的差异形成低压感测的硅微机械元件由同类工艺制造，以形成标准的压力量程元件，但存在关键的区别。标