光学显微分析讲述.ppt

2006-10-09 电子显微分析之电子光学基础 材料化学研究方法 2.2 光学理论基础----物如何成像？ 2.2.1 光的物理性质 2.2.2 光与固体物质的相互作用 2.2.3 阿贝成像原理 衍射的形成(光的衍射) 衍射产生的基本条件：只有缝、孔的宽度或障碍物的尺寸跟波长相差不多或者比波长更小时，才能观察到明显的衍射现象. 但也不能比波长小太多，当孔的宽度为波长的大约3/10时波的衍射现象已经不明显—能量减弱，衍射现象观察不到。 2.2.3 阿贝成像原理 对于周期性结构的物体，图像的形成用阿贝成像原理来解释。 光线通过细小的网孔时要发生衍射，衍射光线向各个方向传播，凡是光程差满足 (k=0，1，2，…)的，互相加强。同一方向的衍射光则成为平行光束。 2.2.3 阿贝成像原理 平行光束通过物镜在后焦面上会聚；形成衍射花样。衍射花样上的某个衍射斑点是由不同物点的同级衍射光相干加强形成的；同一物点上的光由于衍射分解，对许多衍射斑点有贡献。 从同一物点发出的各级衍射光，在产生相应的衍射斑点后继续传播，在象平面上又相互干涉，形成物象. 2.2.3 阿贝成像原理 阿贝成像原理可以简单地描述为两次干涉作用：平行光束受到有周期性特征物体的散射作用形成衍射谱，各级衍射波通过干涉重新在像平面上形成反映物的特征的像。 物与象之间的相似性 物与象之间的相似性由什么因素来决定? 实验:一个细金属网在显微镜透射光照射下,在物镜后面焦面上产生初级干涉图像.在后焦面上用遮蔽的方法改变允许透光的区域,使这些区域上的衍射斑点数与方位都不一样,并观察相应的最终图像. 物与象之间的相似性 物象是由直射光和衍射光互相干涉形成的，不让衍射光通过就不能成象，参与成象的衍射斑点愈多，则物象与物体的相似性愈好。 2.3 光学显微镜的构造 光学系统 物镜 物镜是显微镜中对成象质量优劣起决定性作用的光学元件。 物镜位于被观察物体附近，是实现第一级放大的镜头。在物镜转换器上同时装着几个不同放大倍率的物镜，转动转换器就可让不同倍率的物镜进入工作光路，物镜的放大倍率通常为5～100倍。 为了使不同的物镜和目镜在安装组合后能正确对焦，物镜镜筒连接面和目镜安装面（目镜与镜筒的连接面）的距离，以及物镜的1次成像位置到目镜安装面的距离a必须固定。这个距离叫做机械筒长，标准机械筒长为160 mm。 目镜 目镜是位于人眼附近实现第二级放大的镜头，镜放大倍率通常为5～20倍。按照所能看到的视场大小，目镜可分为视场较小的普通目镜，和视场较大的大视场目镜(或称广角目镜)两类。 机械系统 2.4 光学显微镜的重要参数 2.4.1 数值孔径 2.4.2 分辨率 2.4.3 放大率和有效放大率 2.4.4 光学透镜的象差 2.4.5 景(场)深与焦深 2.4.6 工作距离 2.4.1 数值孔径 数值孔径也称为镜口率，是表示物镜分辨细节能力的参数，是判断物镜性能高低的重要标志。 数值孔径（NA）是物镜前透镜与被检物体之间介质的折射率（n）和孔径角（α）的正弦之乘积。NA= nsinα 孔径角是指：物镜光轴上的物体点与物镜前透镜的有效直径所形成的角度 2.4.1 数值孔径 孔径角越大，进入物镜的光通亮就越大，分辨率越高。孔径角与物镜的有效直径成正比，与焦点的距离成反比。 根据阿贝成像原理，衍射光线反映了物体形貌的细节，因此一个物镜要反映物体的细节，必须能够接受尽量多的高阶衍射光线。 物镜接收衍射光线的能力也强烈的依赖于在样品与镜头之间的介质。因此，数值孔径的概念更加能够有效的描述物镜的成像能力。 2.4.2 分辨率 分辨本领 此时, 样品上相应的两个物点间距离?r。定义为透镜能分辨的最小距离，也就是透镜的分辨本领。 ?r0═ R0/M 分辨本领是由物镜的NA值与照明光源的波长两个因素决定，NA值越大，照明光线波长越短，分辨率就越高。 2.4.3 放大率和有效放大率 放大率就是放大倍数，是指被检验物体经物镜放大再经目镜放大后，人眼所看到的最终图像的大小对原物体大小的比值，是物镜和目镜放大倍数的乘积。 放大率Γ是物镜放大率β和目镜放大率Γ1的乘积： Γ=β×Γ1 2.4.3 放大率和有效放大率 显微镜放大倍率的极限即有效放大倍率。 当选用的物镜数值孔径不够大，即分辨率不够高时，显微镜不能分清物体的微细结构，此时即使过度地增大放大倍率，得到的也只能是一个轮廓虽大但细节不清的图像，称为无效放大倍率。 M有效＝ ?r /?r0 ?r为人眼分辨本领。 2.4.4 光学透镜的像差 通常平行于透镜光轴的光线在通过透镜后并不会聚集于一点，而是会聚成一个模糊的斑点或称弥散圈。同样，一个物体通过透镜后也不可能形成完全相似的像，图像