二电子显微解析.ppt

第二章 电子显微分析 Electron Micro-Analysis 研究对象 微结构与显微成分 微结构与性能的关系 微结构形成的条件与过程机理 材料的性能由微结构所决定，人们可通过控制材料的微结构，使其形成预定的结构， 从而具有所希望的性能。 电子显微分析是利用聚焦电子束与式样物质相互作用产生各种物理信号，分析式样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。 方法： 1、透射电镜（TEM） 2、扫描电镜（SEM） 3、电子探针（EMPA） 光学显微镜 优点： 简单，直观。 局限性：分辨本领低（0.2微米）；只能观察表面形貌；不能做微区成分分析。 化学分析 优点： 简单， 方便。 局限性：只能给出试样的平均成分，不能给出所含元素随位置的分布；不能观察象 。 X射线衍射: 优点：精度高；分析样品的最小区域mm数量级； 局限性：平均效应；无法把形貌观察与晶体结构分析结合起来 。 第一节 电子光学基础 一、光学显微镜的分辨率 雷列—阿贝公式： r=0.61λ/nsinα 式中：r——分辨本领 λ——照明源的波长（nm） n——透镜上下方介质的折射率