钟雷等离子体及气体放电基础知识介绍.pptVIP

等离子体及气体放电基础 研发部 钟雷 ①等离子体——物质的第四态 在目前已知可观测的宇宙空间中，99%的物质都不是上述三种形态，而是处于等离子态。 极光（左上） 闪电（右下） 3.等离子体分类 高温等离子体： 宇宙中恒星、核聚变反应堆（上亿度）； 低温等离子体： 辉光、电晕、火花、电弧。 在工业领域广泛应用的是低温等离子体，特别是辉光等离子体。 4.等离子体的特性 等离子体内充斥着的电子和离子，对电磁场的响应非常敏感。 因此我们可以简单总结： 电场具有加速带电粒子，尤其是电子的作用,通过加速赋予带电粒子能量； 磁场具有约束带电粒子围绕其圆周运动的作用。 人们利用电磁场来对等离子体施加影响，在各个领域取得应用。 核聚变装置（左上） 磁控溅射装置（右下） EAST装置截面 磁控溅射原理 ②气体放电原理 1.电离 通过高压或高能辐射等方式，使中性粒子变为带电粒子的过程。 电子经过电场加速，与原子碰撞产生一对新的电子和正离子。这样空间存在两个电子。 两个电子随后经过再次加速，与另外两个原子碰撞，产生另外两对电子和正离子。 2.完成雪崩电离的条件： 1)电子具有足够能量（打得狠） 要求电子在电场里加速到一定速度——高压电场； 加速过程中无