-10-17国际学-微电子技术实验指导书.docVIP

微电子技术实验指导书 半导体电阻率测试实验项目 （验证性实验；实验学时 2h ） 实验说明 半导体材料用于器件生产时往往必须按要求掺杂，对掺杂的浓度、均匀性有严格的要求，它的掺杂性能对加工成的成品质量关系重大，必须严格控制与检测。掺杂后的的半导体电阻率变化是反映其掺杂情况的一个重要指标，所以在半导体生产工艺或在开发研究中必须掌握其测试方法。一般测试中多采用四探针法，结合相应的算法，进行半导体体电阻率的测量。 本实验学习利用专用仪器测试半导体电阻率的方法，同时通过测试和实际观察加深对半导体电阻率特性理解。实验完成之后要写出实验分析报告。 2．实验目的 1）. 学习掌握测试半导体电阻率特性参数的方法。 2). 加深对半导体电阻率特性参数理解，掌握对该参数的观查分析方法。 3.实验原理 将四根排成一定布局的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上，在 1、4 探针间通以电流 I(mA)，2、3 探针间就产生一定的电压 V(mV)(如图1)。测量此电压并根据测量方式和样品的尺寸不同，可分别按以下公式计算样品的电阻率、方块电阻、电阻： ①. 薄圆片(厚度≤4mm)电阻率： F（D/S）╳ F（W/S）╳ W ╳ Fsp