微惯性技术课件第三章解析.pptVIP

微惯性技术 　　——微机械惯性仪表 中北大学 电子与计算机科学技术学院 李 杰 Tel:3921882; E_mail: Lijie@nuc.edu.cn 主要内容 一、微加速度计 1、基本概念 2、工作原理 3、分类 4、信号检测 5、设计程序 1、微加速度计基本概念 微加速度计是用检测质量块或震动探测块来测加速度的：外部加速度对质量块发生作用，然后通过测量质量块的位移、质量块对框架的作用力，或保持其位置不同所需的力来得出加速度值。 2、基本工作原理 基本物理原理： F=ma 3、微加速度计的分类 按检测质量的运动形式来分： 有角振动式和线振动式加速度计 按检测质量支承方式来分： 有扭摆式、悬臂梁式和弹簧支承方式 按控制方式来分： 有开环式和闭环式。 根据梁的个数分： 单梁结构、单端双梁结构、双端双梁结构、多梁结构 根据敏感轴数量分： 单轴、双轴、三轴 按信号检测方式来分： 压阻效应 电容效应 隧穿效应 压电效应 电感效应 谐振效应 热效应 光学效应 压阻式加速度计 特点 读出电路非常简单 压敏电阻制作难度大 温度系数大 电容式加速度计 特点 敏感器件制作简单 不受温度影响 读出电路复杂 易受寄生参数影响 非线性 隧道式微机械加速度计 由物理学可知，将尺寸很小（10-9m）的极细探针