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量测设备简介 – AOI自动光学量测 量测设备简介 – AOI 利用灰阶描述 量测设备简介 - Ellipsometer Structure of machine Measurement Flow Measurement item 1. Thickness (T) 2. Refractive index (n) 3. Eg 4. For AS, BP, ITO, PR 量测设备简介 - Ellipsometer Concepti : 入射光r : 反射光 Complex Fresnel Reflection Coefficients 量测设备简介 - Ellipsometer Definition of Ellipsometry Coefficient ρ and its Correlation Equation 量测设备简介 - Ellipsometer Basic theory v.s Ellipsometric data 利用光学量测上物质之尺寸特性与光的传播路径存在着密切关联的特性 膜厚取决于反射自膜表面与底面间光之干涉行为 Film Phase Thickness 折射系数n与消光系数k 均与光之波长存在关联性(均为波长之函数) 无back-reflection之semi-infinite sample(太厚之吸收材料层or 材料与底材之contr