材料工程系專題製作成果報告.pptVIP

* 四技部 2008級 ： 畢業級別 盧榮宏 老師 ： 指導教授 劉謹豪 ： 學生 TiN-TiOx複合材料薄膜電阻與溫度特性研究及檢測設備製作開發 ： 題目 材料工程系專題製作成果報告 簡 介 結 論 研 究 成 果 方 法 步 驟 儀 器 設 備 利用反應式磁控濺鍍法控制金屬性TiN與半導性TiOx的複合結構薄膜，進而操控薄膜電阻與溫度之特性變化。預期將製作出電阻不隨溫度變化的Zero-TCR Temperature Coefficient of Resistance 複合結構薄膜與電阻隨溫度劇烈變化的High-TCR複合結構薄膜。 如圖一 a ，以半導性的TiOx包覆金屬性TiN，或者TiOx與TiN互相混合。由於TiN的電阻會隨溫度增加而上升 正的電阻溫度係數，PTCR ，而TiOx則是電阻隨溫度上升而下降 負的電阻溫度係數，NTCR ，於是兩種材料串聯並聯的狀況可以互相牽制而造成Zero-TCR，圖一 b 。 圖一、 a TiN與TiOx在薄膜中結構示意圖， b 產生Zero-TCR原理概念， c High-TCR薄膜結構示意圖。 當TiOx比例多到一定程度以上時，如圖一 c ，NTCR的影響會大於PTCR，將可能造成電阻對溫度有劇烈變化的特性。 同時，建立薄膜電阻對溫度特性的自動量測系統，利用此量測系統