半导体气体特性及系统介绍.pptVIP

半导体气体特性介绍 1. Bulk Gas 大宗气体2. Specialty Gas 特气 标签的粘贴方式 气体标签 气体标签内容要与管道内气体一致； 气体标签的方向要与气体走向一致； 气体标签粘贴，要符合以下规定： 1）在直管段每2米一个; 2）弯头两头应贴标签； 3）与原有系统的标签位置平齐； 4） 在机台POU处、阀箱进口、VMB出口、VMP出口、 阀前和阀后、上IC洞口处要有气体标签; 5) 粘贴气体标签要以易看见为标准；如：在高处水平管道的标签应贴在管道下半圆两侧90度范围内。 6) 粘贴标签要美观,保证标签与管道平行,居中,无残缺,褶皱,翘曲 机台名标签 机台名标签内容要与管道所属机台一致； 机台名标签的方向要与气体走向一致； 机台名签粘贴，要符合以下规定： 1）在连接takeoff piont水平管道正下部、VMBVMP面板上管道左侧要有机台名标签; 2) 粘贴标签要美观,保证标签与管道平行,居中,无残缺,褶皱,翘曲; Takeoff piont 号码标签 Takeoff piont 号码标签内容要与管道所属Takeoff piont一致； Takeoff piont 号码标签的方向要与气体走向一致； Takeoff piont 号码标签