PET瓶内镀DLC薄膜结构、成分的研究.docVIP

PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分研究 杨莉，付亚波，陈强*，张跃飞 北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室, 北京,大兴，102600 摘要：本文采用射频等离子体化学气相沉积（RF-PECVD）技术，以C2H2为碳源，Ar为稀释气体，在普通PET瓶内制备类金刚石（Diamond-like Carbon, 简称DLC）薄膜作为高阻隔层。采用傅立叶红外透射光谱(FTIR)对其进行结构、成分进行分析。结果表明,射频等离子体化学气相沉积方法，可以在很短时间内于PET瓶内沉积一层纳米厚度的DLC膜。傅立叶红外透射光谱(FTIR)分析表明选用规格不同的电极，对于所制备的DLC的结构影响很大,同时薄膜结构中SP2 和SP3比例和放电功率有较大的关系，而薄膜的成分受乙炔的比例的影响也不容忽视。 关键字：类金刚石膜；PECVD；红外吸收光谱 DLC Barrier layer on the PET bottle surface by PECVD Abstract: In this paper, Diamond-like Carbon (DLC) films on the inner surface of the PET-bottle as the high gas barrier layers were deposited by radio frequency plasma-enhan