微纳米定位技术_v3.ppt

Linear-play operator: a physical model; b rate-independent transfer characteristic * * 4.3 微纳米定位技术在微纳米加工中的应用 Nanomachining lithography 纳米雕铣 纳米铣削 超声波直线电机是利用超声波振动进行驱动的电机 * * 超声波直线电机是利用超声波振动进行驱动的电机 * * 桥式放大机构 放大倍数 桥式放大机构 PZT最大行程：38um 微动台单方向最大行程：119um 3. 微纳米定位系统的控制方法 磁滞(hysteresis) 磁滞是压电陶瓷驱动器的固有非线性现象，具有复杂的多值映射、非局部记忆性等非线性特性 一般情况下，其正向曲线和反向曲线的磁滞误差可以高达15%。 3.1 纳米定位的限制因素  振动(vibration) 当驱动信号的频率接近于压电扫描器本身的固有频率时，会引起共振现象，使得扫描器的运动轨迹发生扭曲。 交叉耦合(cross-coupling) 不同轴之间的相互作用 蠕变(creep) 一般发生在扫描速度较慢的情况下。 可以通过明确的数学模型描述，也可以通过常规的PID反馈来消除。 3.2 纳米定位控制方法 纳米定位控制器一般有如下三种结构： 前馈控制（feedforward） 反馈控制（feedback） 混合控制（feedforward+feedback） 前馈控制 前馈控制的主要作用是改善跟踪性能，一般有两种方式： 逆磁滞补偿——补偿磁滞非线性，线性化模型 基于模型的前馈——补偿振动特性，提高跟踪带宽 逆磁滞补偿(Inverse Hysteresis Compensation) 定义：通过建立磁滞逆模型，根据期望轨迹，计算出控制输入，补偿磁滞非线性。 逆磁滞补偿(Inverse Hysteresis Compensation) 逆磁滞补偿步骤： 方法一： 建立磁滞模型 磁滞模型的参数辨识 求解磁滞逆模型 方法二： 直接建立磁滞逆模型 磁滞逆模型的参数辨识 重点： 磁滞模型的选择； 模型参数的辨识。 逆磁滞补偿(Inverse Hysteresis Compensation) 磁滞模型分类： 逆磁滞补偿(Inverse Hysteresis Compensation) 模型参数的辨识： 基于导数的方法：最速下降法、牛顿法…… 直接搜索的方法：单纯形法、信赖域法…… 智能算法：遗传算法、进化算法、蚁群算法、粒子 群算法、神经网络算法…… 逆磁滞补偿(Inverse Hysteresis Compensation) 应用：压电驱动的微操作器的磁滞补偿 逆磁滞补偿(Inverse Hysteresis Compensation) 应用：AFM的磁滞补偿 基于模型的前馈(Model-Based Feedforward) 前馈输入的求解方法 dc-Gain Inverse： Inverting Periodic Trajectories： Exact Inverse： Optimal Inverse： 应用：轨迹跟踪 基于模型的前馈(Model-Based Feedforward) 应用：STM扫描 基于模型的前馈(Model-Based Feedforward) 应用：AFM扫描 基于模型的前馈(Model-Based Feedforward) 应用：提高压电扫描器的定位带宽 基于模型的前馈(Model-Based Feedforward) 反馈控制 反馈控制可以用来消除磁滞、蠕变、振动等特性，实现精密定位。 最大的问题就是低增益裕量。 其结构形式如下： 积分控制（Integral Control） 积分控制是最常用的一种反馈控制方法。 优势：在低频处可以提供高增益反馈，克服蠕变和磁滞非线性。 缺点：高频率时失效。 应用：商用的SPM。 高增益反馈控制(High-gain Feedback Control) 控制结构：陷波滤波器+高增益反馈控制器 陷波滤波器传递函数： 作用：解决反馈控制器的低增益问题，“整平”尖锐的共振峰，实现高频处的精密定位。 高增益反馈控制(High-gain Feedback Control) 应用：纳米定位平台的共振控制 大大减少了平台在第二共振频率处的增益 高增益反馈控制(High-gain Feedback Control) 应用：AFM中压电扫描管控制 幅值裕量从-17.05dB 增加到30.86dB 混合控制 前馈+反馈 前馈控制——improve system performance 反馈控制——account for modeling errors