第六激光其它测量技术摘要.ppt

三、扫描镜电流计测径 电流计作用：镜偏转由驱动电流控制，驱动电流操纵扫描镜电流计，电流计的基本扫描作用是把恒定的角速度转换成扫描平面内的恒定线速度。 精度：适合于各种光导纤维或金属细丝的线径测量，精度1%以内 扫描镜运动形式：以恒定角速度转动，当转过一个微小角度（θ≤3?）后迅速返回到它的起始位置。 信号特点：光点扫过纤维时得到相应的脉冲信号宽度与线径成近似线性关系 四、位相调制扫描测量技术 影响激光扫描测量精度的主要因素： 工件边缘的衍射现象 衍射使被测工件的边界模糊，用时间脉冲计数时，必然引入 误差，使前述的光点扫描测量精度限制在±0.01 mm。 位相调制扫描测量技术采用空间调制光束来扫描工件，通过 测量位相，而不是测时间来获得被测件的尺寸，测量精度可 达±1 μm，适合于各种高温、高压下做非接触高精度现场 测量。 设PBS分开的两束光的光强相等，则扫描光①、②、③之间的光强I1,I2.I3，有如下关系: 若Pockels调制器的振荡频率为ω，由图6-18可知，光束①+③是(I1+I3) (1 + sin ω t)。而光束②的方程是I2(1-sin ω t)。对任意时刻，调制扫描光束的表达式为 1当光束③与工件相遇时为a区，扫描光束扫过工件后为a区 2当工件边缘开始挡住光束③或①时，这时为b区和b区 3当工件边缘开始挡住光束②到全部挡住光束②时 2和3 的信号正好相差π 工件