教育训练-真空元件.pptVIP

* * * * 真空材料與元件 * * 一、概論 傳統之真空系統或真空裝置的結構，採用了金屬、玻璃、陶瓷和些許的橡膠暨塑膠構建而成。 * * 真空系統中的各部份材料，必須有足夠之機械強度，能抵抗壓差（THE PRESSURE DIFFERENCE）及氣體的不滲透性行為（IMPERMEABLE）並具有低蒸氣壓（LOW VAPOUR PRESSURE）能適應各種特殊之工作環境（如溫度所帶來之變化）。 * * 二、機械強度 真空環境之保持是藉由容器包圍保持，容器之外部為大氣（ATMOSPHERE）內部則為零壓力（ZERO PRESSURE）之狀態，因此容器必須有足夠之強度藉以抵抗壓差。〈避免容器因無法抵抗壓差，進而向中央凹陷〉因此具有足夠之機械強度為其先決條件。 * * 三、氣體的滲透力 真空容器暨管件的構成物質如：金屬，玻璃或橡樛器壁有著或多或少可供氣體進行滲透之毛細孔。 * * 而氣體滲透過器壁的量，可大至猶如多孔的陶瓷體或鑄件體，甚或至在非多孔性的器壁表面反射。對於多孔性（POROUS）材質表面粗糙度明顯，具鬆散層的材料避免選用，至於非多孔性的材料，他們對於氣體的容許滲透力也必需列入氣體的負載評估之列。 * * 四、蒸氣壓（VAPOUR PRESSURE） 　　　　在真空系統中使用之材料，必需在最高溫之狀態下有最少的蒸氣壓有些金屬材料（Zn .Pb）在4