04宋春艳——降低PECVD工序产生的不良解说.ppt

 降低PECVD工序产生的不良 部门：生产制造部 组长：孟小龙 小组成员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李刚、高东岗 日期：2010.07.05 目录 1、小组信息 2、问题定义/ 改善主题和目标设定 3、现状分析 4、真因分析及验证 5、对策拟定与实施 6、效果确认 7、持续改善及效果评估 8、防止再发、标准化与认知 9、残余及潜在问题 1、小组信息 组名：PE之星 组长： 孟小龙 小组成员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李刚、高东岗。 小组目标：将PE碎片率降低到0.13%以内，PE崩边降低到0.02%。 部门：生产制造部 起止日期：2010.4.14-2010.6.25 2. 问题定义/ 改善主题和目标设定 问题描述及目标： 分类 描述 问题描述 PE会产成大量碎片和隐裂，到丝印第一道就会形成碎片导致丝印碎片率升高，后检测同样产生大量的PE崩边影响整体合格率。 现状 三月份碎片率0.35%，崩边率0.14%，与目标碎片率0.13%、崩边率0.02%差距很大。 目标 六月份结束要达到碎片率降到0.13%，PE崩边降低到0.02%。 差距 达到理想碎片还需要降低0.22%，崩边率降低0.11% 2. 问题定义/ 改善主题和目标设定 问题定义：5W2H分析 所要改善主题的描述（5W2H） What？ 降低PECVD工序产生的不良 Who？ 组长：孟小龙。组员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、高东岗 When？ 2010.04-2010.06 Where？ PE工序 Why？ 改善效益、提升品质 How？ 制定标准作业流程，改善设备状况 How much？ 0.13% 3. 现状分析 数据分析： PE碎片率0.35%（2.25-3.25） PE崩边率0.16%（3.25-4.13） PE崩边 丝印碎片率0.60%（3.25-4.14） 数据分析： 3. 现状分析 丝印上料台 3. 现状分析 现状分析：5W2H分析 PE产生不良高（5W2H） When？ PE工序生产时，包括插片、卸片 Where？ PE工序 What？ PE工序生产时造成的碎片，PE崩边 Why？ 动作不规范、石墨舟清洗不及时卡点换的不合格。 Which？ 观察员工动作、收集数据 How？ 从规范PE工序内工的动作着手，制定石墨舟的合理清洗流程 How much？ 三月碎片率0.35%，崩边率0.14% 4. 真因分析及验证 碎片种类 定义 产生原因 　 吸片掉片 插片、卸片及其他需要吸笔移动硅片的过程中，操作不当导致的掉片 人工碎片 插片碎片 插片时动作不稳定，用力不当或碰撞导致碎片 卸片碎片 卸片时动作不稳定，用力不当或碰撞导致碎片 卸片隐裂 运行工艺之前，有损伤的硅片，经炉内高温后，成为隐裂或碎片，直到卸片时被发现 测试膜厚碎片 测试过程中，动作不稳定，导致碎片 上/下料掉片 由于人为原因，未将硅片固定于卡槽内，导致上、下料时硅片被设备净化风和热排风吹落 花片 无法返工的镀膜不良 设备碎片 吸笔掉片 吸笔故障，吸力不足导致掉片 卡点掉片 石墨舟卡点安装不标准或卡点松动，硅片无法在石墨舟内固定 卡点碎片 石墨舟卡点磨损变深（表现为卡点过大），导致插片或卸片时，硅片与卡点之间摩擦力过大而导致碎片 舟 硅片出炉后发现的碎片（硅片尚未受到卸片操作的外力作用） 按碎片原因分类： 碎片分类 按碎片原因分类 数量 比例 总计 所占比例 来料 隐裂 84 24.56% 84 24.56% 人为 吸片掉片 196 57.31% 7 3.57% 插片 72 36.73% 卸片 99 50.51% 测试膜厚 5 2.55% 上/下料掉片 7 3.57% 花片 6 3.06% 设备 吸笔掉片 62 18.13% 3 4.83% 卡点掉片 22 19.35% 卡点碎片 28 29.03% 舟 9 46.77% 4. 真因分析及验证 碎片统计（4.21-5.04）： PE碎片构成 4. 真因分析及验证 卡点未及时更换或者更换不合格 设备碎片高 员工动作不标准 人为碎片高 不标准动作 4. 真因分析及验证 PE不良 人 法 物.料 机 动作不标准 厚薄不均 石墨舟卡点更换不标准 隐裂多 速度过快 没有标准作业流程 石墨舟使用次数过多 地面不平 安排不合理 吸笔吸力不足 疲劳 原 因 分 析 人 动作不标准 观察动作，确定合理动作 速度过快 实行标准工时插片时间不得低于10min/批，卸片不得低于4min/批，严格执行 疲劳 合理安排，杜绝浪费 机 吸笔吸力不足 建立吸笔磨损笔记，定时更换 卡点更换不合格 跟踪卡点磨损程度，2月更换 石墨舟清洗不及时 100次清洗 地面不平 推车小心，地面磨平 物、料 隐裂多 追查原因，严抓等刻 厚薄不均 前检投入严格控制 法