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21世纪微电子技术发展方向浅析 本文由qucklly1003贡献 doc文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 目 摘 录 要:…… 1 0 前言…… 2 1 微电子技术的历史及现状 …… 2 1.1 微电子技术的发展史 …… 2 1.2 微电子技术的巨大作用 …… 2 1.3 微电子技术的危机 …… 3 2 微电子技术的发展方向 …… 3 2.1 制造工艺的进步 …… 3 2.2 微电子技术发展的新方向 …… 10 3 中国微电子技术发展展望 …… 12 3.1 中国微电子技术发展过程 …… 12 3.2 中国发展微电子技术的必要性 …… 13 3.3 中国发展微电子技术应注意的方面 …… 13 4 结论…… 14 参考文献…… 15 21 世纪微电子技术发展方向浅析 摘 要: 微电子也就是集成电路. 它是电子信息科学与技术的一门前沿学科. 微电子技术涉及的 面非常广泛,从半导体材料,半导体工艺到半导体器件,单元电路,乃至于各种类型集成电 路的设计和制造,都是微电子学科覆盖的范围.随着集成电路技术的发展,使整机,电路与 元件,器件之间的明确界限被突破.器件问题,电路问题和整机系统问题已经结合在一起, 体现在一小块硅片上, 这就形成了固体物理, 硅器件工艺与电子学三者交叉的新技术学—— 微电子学.21 世纪将是微电子技术与产业持续发展的新世纪,微电子制造业作为一项战略 性的基础产业,对于促进我国国民经济持续发展,保证国家安全具有举足轻重的地位.因此 了解微电子技术的发展历史, 探索微电子技术的发展方向, 解决微电子技术发展过程中存在 的问题是至关重要的. 关键词: 关键词: 微电子技术 集成电路 制造工艺 半导体器件 Introduction to Microelectronics Technology Abstract: Microelectronics is IC. It is the electronic Information Science and Technology of a frontier. Microelectronic technology involves a very broad, from semiconductor materials, semiconductor technology to the semiconductor device, circuit elements, and even various types of integrated circuit design and manufacturing, microelectronics are subject coverage. With the development of integrated circuit technology, making machine, circuits and components, the clear boundaries between the devices is a breakthrough. Device problems, circuit problems, and whole system problems have been combined, embodied in a small piece of silicon, which form a new Technology – Microelectronics,which combine solid-state physics, silicon device technology and electronics. The 21st century will be the new century with the sustainable development of microelectronics technology and industry, the microelectronics manufacturing industry as a strategic basis plays a decisive role in promoting the sustainable development of Chinas national economy and ensuring the national security.Understand the historical development of semiconductor technology, Explore the development of micro