等离子体增强化学气相沉积PEVCD研究分析现状.docVIP

太阳能光电工程学院 《材料加工设备概论》 课程设计报告书 题 目： 等离子体增强化学气相沉积PEVCD的研究现状 姓 名： 白 文 周 专 业： 光伏材料加工与应用技术 班 级： 09级光伏材料助考班 准考证号： 014410300529 设计成绩： 指导教师： 摘 要 本设计主要阐述了等离子体增强化学气相沉积PECVD的基本原理，什么叫PECVD以及在太阳能电池片制作过程中的研究现状 关键词： 等离子 化学气相沉积 基本原理 PECVD 研究现状 目 录 绪 言 3 1 　 4 1.1 等离子体的基本概念和性质 4 1.2 等离子体的特性参数描述 5 1.2.1粒子密度和电离度 6 1.2.2 电子温度和粒子温度 6 1.3 等离子体的产生方法和原理 7 2 辉光放电等离子体的物理基础 8 2.1 辉光放电装置 8 2．2 辉光放电原理 10 3等