12 电子显微镜的基本原理.pptVIP

第二章 电子显微镜 3 电子波的波长 4 电磁透镜 5 电磁透镜的缺陷 6 电磁透镜的景深和焦长 7 电子显微镜的构成 作业 （3）色差 色差是由于成像电子的能量或波长不同而引起的一种像差。能量大的电子在距透镜中心比较远的地点聚焦，而能量较低的电子在距透镜中心比较近的地点聚焦。结果使得由同一物点散射的具有不同能量的电子经透镜后不再会聚于一点，而是在像面上形成一漫射圆斑。 由于上述像差的存在， 虽然电子波长只有光波长的十万分之一左右，但尚不能使电磁透镜的分辨率提高十万倍。 目前还不能制造出无像差的大孔径角的电磁透镜，而只能采用很小的孔径角尽可能减小球差等缺陷的影响。电磁透镜的分辨本领只比光学透镜提高一千倍左右。 （1） 景深 透镜的景深是指在保持像清晰的前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离Df。换言之，在景深范围内，样品位置的变化并不影响物像的清晰度。 造成景深现象的原因是像差和衍射综合影响的结果。景深大小Df与物镜的分辨本领Δγ0成正比，而与孔径半角α成反比，即： Df＝ 2 Δγ0/α 2Δγ0 ：为电磁透镜的分辨本领， α：为孔径半角。 因此，电磁透镜的孔径半角越小，景深越大。 一般电磁透镜的α＝10－2－10－3 rad，因此 Df＝(200?2000)Δγ0