CH8压电式传感器讲课.ppt

第八章 压电式传感器 学习要求 1.掌握压电传感器的工作原理及工作特性； 2.学习压电传感器的应用。 第八章 压电式传感器 压电式传感器是一种可逆型换能器，它既可以将机械能转换为电能（压电传感器），又可以将电能转化为机械能（超声信号发生器）。 压电材料及主要特性参数 压电材料可以分为两大类：压电晶体和压电陶瓷。 压电材料的主要特性参数有：  ① 压电常数: 压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数，它直接关系到压电输出灵敏度。  ② 弹性常数/刚度: 压电材料的弹性常数、刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 压电材料主要特性参数 ③ 介电常数: 对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。  ④ 机械耦合系数：在压电效应中，转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根，是衡量压电材料机—电能量转换效率的一个重要参数。  ⑤ 电阻: 压电材料的绝缘电阻大将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。  ⑥ 居里点温度: 是指压电材料开始丧失压电特性的温度。 石英晶体各个方向的特性是不同的。 其中纵向轴z称为光轴，经过六面体棱线并垂直于光轴的x称为电轴，与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。 通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”， 而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。 而沿光轴z方向的力作用时不产生压电效应。 纵向压电特性 若从晶体上沿y方向切下一块如图6-2（c）所示的晶片，当沿电轴方向施加作用力Fx时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷qx， 其大小为 式中, d11为x方向受力的压电系数。 横向压电特性 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力Fy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为 式中：d12——y轴方向受力的压电系数，根据石英晶体的对称性， 有d12=?d11； a、b——晶体切片的长度和厚度。  电荷qx和qy的符号由受压力还是受拉力决定。 石英晶体的上述特性与其内部分子结构有关。下图是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子（+）和氧离子（－），在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。 石英晶体压电特性 因为P=ql, q为电荷量，l为正负电荷之间距离。此时正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即P1+P2+P3=0，所以晶体表面不产生电荷，即呈中性。  当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时，晶体沿x方向将产生压缩变形，正负离子的相对位置也随之变动。如图6-3（b）所示，此时正负电荷重心不再重合，电偶极矩在x方向上的分量由于P1的减小和P2、P3的增加而不等于零。在x轴的正方向出现负电荷， 电偶极矩在y方向上的分量仍为零，不出现电荷。  石英晶体压电特性 当晶体受到沿y轴方向的压力作用时，晶体的变形如图6-3c）所示。与图6-3（b）情况相似，P1增大，P2、P3减小。在x轴上出现电荷，它的极性为x轴正向为正电荷。在y轴方向上仍不出现电荷。 如果沿z轴方向施加作用力，因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力，晶体不会产生压电效应。  当作用力Fx、Fy的方向相反时，电荷的极性也随之改变。 石英晶体的应用 8.1.2 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。 在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们各自的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。  在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强， 就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴的极化方向基本没有变化，即剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性。 压电陶瓷的压电效应 极化处理后陶瓷材料内部存在有很强的剩余极化，当陶瓷材料受到外力作用时，电畴的界限发生移动，电畴发生偏转， 从而引起剩余极化强度的变化， 因而在垂直于极化方向的平面上将出现极化电荷的变化。这种因受力而产生的由机械效应转变为电效应，将机械能转变为电能的现象，就是压电陶瓷的正压电效应。电荷量的大小与外力成如下的正比关系： 式