课件2(压阻).ppt

2007 2007 2007 7．高温压力传感器 多晶硅压力传感器： p100 SOI高温压力传感器： p100 SiC(碳化硅)高温压力传感器 1）3C-SiC薄膜高温压力传感器（注：3C-闪锌矿结构） 2）多晶SiC高温压力传感器 3）6H-SiC高温压力传感器 SOS蓝宝石压力传感器 石英压力传感器 陶瓷厚膜高温压力传感器 光纤高温压力传感器 2007 2007 2007 2007 2007 2007 2、第一对称电桥 若电桥桥臂两两相等，即R1=R2=R，R3=R4=R′，则称它为第一对称电桥，如图，实质上它是半等臂电桥。设R1有一增量ΔR，电桥的输出电压为 Ug R2=R R4=R’ R1=R R3=R’ E 第一对称电桥 B A C D 上式表明：第一对称电桥的输出电压与等臂电桥相同，其非线性误差可由（5.1-32）式计算。若RΔR，上式仍可化简为(5.1-28)式，这时输出电压与应变成正比。 3、第二对称电桥 半等臂电桥的另一种形式为R1=R3=R，R2=R4=R′，称为第二对称电桥。若R1有一增量ΔR，则 Ug R2=R’ R4=R’ R1=R R3=R E 第二对称电桥 B A C D 当k1(RR ′)时，k/(1+k)1/2，其非线性较等臂电桥大； 当k远小于1时，其非线性可得到很好改善；当k=1时，即为等臂电桥。 若RΔR，忽略上式分母中 项，得到 可见，在一定应变范围内，第二对称电桥的输出与应变呈线性关系，但比等臂电桥的输出电压小 倍 。 交流载波放大器具有灵敏度高、稳定性好、外界干扰和电源影响小及造价低等优点，但存在工作频率上限较低、长导线时分布电容影响大等缺点。 直流放大器工作频带宽，能解决分布电容问题，但它需配用精密稳定电源供桥，造价较高。 近年来随着电子技术的发展，在数字应变仪、超动态应变仪中已逐渐采用直流放大形式的测量线路。 USC R－ΔR +ΔRT 图 恒流源供电 A C D B R－ΔR +ΔRT R+ΔR +ΔRT R+ΔR +ΔRT E 4、? 测量桥路及温度补偿 为了减少温度影响，压阻器件一般采用恒流源供电，如图所示。 假设电桥中两个支路的电阻相等， 即RABC=RADC=2（R+ΔRT），故有 因此，电桥的输出为 整理后得USC=IΔR 可见，电桥输出与电阻变化成正比，即与被测量成正比，与恒流源电流成正比，即与恒流源电流大小和精度有关。但与温度无关，因此不受温度的影响。但是，压阻器件本身受到温度影响后，要产生零点温度漂移和灵敏度温度漂移，因此必须采取温度补偿措施。 I （1） 零点温度补偿 零点温度漂移是由于四个扩散电阻的阻值及其温度系数不一致造成的。一般用串、并联电阻法补偿，如图所示。其中，RS是串联电阻；RP是并联电阻。串联电阻主要起调零作用；并联电阻主要起补偿作用。补偿原理如下： ? R2 R4 R1 R3 USC 图 温度漂移的补偿 Rp B C D A RS E Di 由于零点漂移，导致B、D两点电位不等，譬如，当温度升高时，R2的增加比较大，使D点电位低于B点，B、D两点的电位差即为零位漂移。要消除B、D两点的电位差，最简单的办法是在R2上并联一个温度系数为负、阻值较大的电阻RP，用来约束R2的变化。这样，当温度变化时，可减小B、D点之间的电位差，以达到补偿的目的。当然，如在R3上并联一个温度系数为正、阻值较大的电阻进行补偿，作用是一样的。 下面给出计算RS、RP的方法。 设R1?、R2?、R3?、R4?与R1″、R2″、R3″、R4″为四个桥臂电阻在低温和高温下的实测数据，RS?、RP?与RS?、RS?分别为RS、RP在低温与高温下的欲求数值。 根据低温与高温下B、D两点的电位应该相等的条件，得 （5.1-65） （5.1-66） 设RS、RP的温度系数α、β为已知，则得 （5.1-67） （5.1-68） 根据以上四式可以计算出RS?、RP?、RS?、RP?。实际上只需将（5.1-67）、（5.1-68）二式代入（5.1-65）、（5.1-66）中，计算出RS?、RP?，再由RS?、RP?可计算出常温下RS、RP的数值。 计算出RS、