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Casaxps作图说明 制作人：赵华丽 刘玉萍 Casaxps软件处理filename.vms格式的文件 1.用casaxps处理宽谱 能够得到的信息: （1）定性分析：归属宽谱中各个峰。图1为经过峰归属后所得到得xps谱图。 峰归属步骤 打开vms格式文件，点击Options →Elements，出现Element library窗口，点击Periodic table，出现一张元素周期表，点击find peak，宽谱上各个峰就被归属了。但是，这时候归属的峰多，不容易分辨，可以做一些修饰。点击 Options →Annotation，出现Annotation窗口，点击peak labels，会出现很多峰相对应的信息如O1s、C1s等等，点击其中一个，点Apply，峰就被标记出来，这样标记完所有重要而又明显的峰后，再次点击Options →Elements→Periodic table→Clear all elements， 峰归属与标记就完成了。然后点击Options → Tile display，出现Tile display parameter窗口，点Display，该窗口的最下面有Title，在空白框里输入想命名的英文文件名，如GaN1 wide ，最后就得到图1. （2）元素含量分析 含量分析步骤 补充说明 图3元素含量和峰重合，看不清，怎样将它们分开呢？ 一些常用的快捷键 2.用casaxps处理精细谱 具体操作步骤 * 1.不同格式数据之间的转换 Casaxps处理filename.vms格式的数据，我们的仪器可以直接给filename.vms格式的数据，但一般情况下给出的是filename，不加任何后缀的文件，这种文件可以用记事本，excel，origin等打开，但是不能用Casaxps打开，但是可以转换成可以用casaxps打开的文件，转换方式如下： （1）将非filename.vms格式数据转换成filename.vms格式数据 将我们给出的原始数据用excel打开，将binding energy和intensity（CPS) 两列数据取出放在一个新建的txt文档下，删掉一些没用的东西，确保数据格 式符合X-Y两列。将修改好的txt文档改为dat文档（直接修改后缀），然后将 dat文件放在一个只有dat文件的专门文件夹里，这个很重要，如果这个文 件夹里有其它格式的文件，那么就无法完成数据的转换。打开casaxps软件， 点convert按钮，在专门存放dat数据的文件夹下找到需要转换的文件，打开 就完成了转换。记住，一旦打开就会在该文件夹下生成一个filename.vms格 式的文件，这样会导致其它文件无法转换，将这个新生成的文件转移到其它 文件夹下就可以了，这样新生成的filename.vms文件就可以直接在 Casaxps里面打开了. （2）将filename.vms格式数据转换成txt格式数据 在Casaxps里面将filename.vms格式的文件打开， 点击 save Tab Ascll to clipbard 按钮 , 出现如左界面， 点击copy all to clipboard键， 将clipboard section 界面关闭后， 将复制的数据粘贴到txt文档即可。 图1 经过峰归属后的xps宽谱 图2 经过峰归属和元素含量分析后的xps宽谱图 在峰归属基础上，点击 Options →Elements→Periodic table→Find peaks， 宽谱上可能有的元素在周期表上为红色，选择想要计算元素含量的元素，点 击Creat Region ,就计算出了各个元素的含量，然后点击Clear all elements，就得到了图2. 点creat出现下面界面后，如图中红箭头所指位置处，左右移动边界，选定要计算含 量的区域 将名称改为该位置处的 元素名称；如284左右为C1s 另一种计算含量的方法： 正确识别各峰后，可以按照处理窄谱的方法处理宽普：点击工作区使其处于激活状态， 点击quantify 按钮，出现下面界面，点regions，再点creat， 得到如下图：按照此方法将其与需要计算含量的元素的区域画出来 在Annotation窗口下，点Quantification, 选上如图的选项，点Apply就会 得到含量报告。 图3 元素含量和峰重合在一起 方法1：如左所示快捷键，任意点击一个按钮可以将谱图移动，按自己 的需要来点击这两个按钮，直至达到要求为止。 方法2：如左图，在annotation窗口下，点击annotation history,将其激活，会出现左图，有红色方框的说明能够移动，点住name上的红色方框，向右移动