ESD教材研讨.ppt

* 操作前的检查：EPA接地系统、材料、静电源 二、ESD控制与防护 * 防静电工作台 二、ESD控制与防护 * 接地要求 设备 10 Ω 6 10 to 10 Ω 6 12 10 Ω 6 二、ESD控制与防护 * 二、ESD控制与防护 离子风机 防静电 桌 垫 防静电 工作台 屏蔽袋 防静电 地 板 警示标志 防静电工作椅 接地线 手腕带 防静电工作台组成 * 防静电测试参数 静电电压 材料表面电阻、体积电阻 接地电阻 二、ESD控制与防护 * 防静电测试仪器 静电场测试仪 兆欧计 接地电阻测试仪/万用表 二、ESD控制与防护 * 简易表面电阻测试 二、ESD控制与防护 * 简易表面电阻测试 二、ESD控制与防护 * 人体综合电阻测试仪 二、ESD控制与防护 * 离子风机 二、ESD控制与防护 离子风机的主要作用是除静电，具有出众的除静电性能，防止静电污染及破坏。 * 环境控制 温湿度控制、灰尘处理 温度：20～30℃ 相对湿度：30～70% 物料分区 防静电区、非防静电区、坏件区、操作区、 办公区、备用包材区、杂物区 二、ESD控制与防护 * 防静电操作注意问题 三芯插头和二芯插头 烙铁的接地 仪器、设备的对接与接地 裸手拿持 ESSD 失效样品的处理 二、ESD控制与防护 * * * * * 课程目标 ESD是电子可靠性工程的重要组成部分，本教材全面系统介绍了ESD基本知识和正确的静电敏感器件操作方法、ESD防护技术、如何进行ESD控制等知识。 通过本教材的学习，可以理解ESD对电子产品的危害，明白ESD控制的重要性，掌握一些ESD防护方法，减少在工作中由于静电产生的危害,提高产品的可靠性为提高电子产品的可靠性打下基础。 * ESD课程大纲 一、ESD基本知识 二、ESD防护与控制 * 一、ESD基本知识 日常生活中常见的静电现象: 严寒的冬天，当您脱下暖和的毛衣，您会听到哔哔啪啪声，干燥的冷天,当伸手去开车门或窗户,会感到触电的感觉，用手去抚摸家里的猫,您会发现猫竟然怒发冲冠。 静电：就是物体表面的一种处于相对稳定状态的电荷。它所产生的效应包括带电体之间力的作用和电场。 静电放电（ESD）：带有不同静电电势（电位差）的物体或表面之间的静电电荷转移。分接触放电和电场击穿介质放电。 静电及静电放电 - + + + + + + + + + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - - - - + * 静电的产生 工作场所中常见的静电产生物质或活动 工 作 桌 面：一般的塑胶、上腊、上漆。 地 板 ：水泥地板、一般塑胶地板。 衣 服 ：人造纤维衣服、一般非导电鞋、 抹布。 椅 子：木材椅、塑胶椅、玻璃纤维椅。 包装及运送 ： 塑胶袋、泡棉、保丽龙、塑胶盒。 组装、加工、测试、修理 ： 喷雾清洁剂、吸锡器、铬铁、 刷子塑胶带、 热气、烤箱、 复写纸。 一、ESD基本知识 * 静电的特性 一、ESD基本知识 * 作业与静电 一、ESD基本知识 * ESD的危害 吸附灰尘 → 缩短产品寿命 放电损伤 → 产品失效 电磁干扰 → 过程中断（不良数据、软件错误、校准失误、处理器停止运作） 一、ESD基本知识 * 现在半导体器件 变得： 更加细小精密 更加复杂 更加静电敏感 半导体发展趋势 一、ESD基本知识 * 电子产品失效情况 根据RAC的统计，在所有硬件故障中，器件ESD失效率占15%，而高静电敏感的器件EOS/ESD失效率高达60%左右。 ESD引起半导体器件损伤，使器件立即失效的几率约10%（短路、开路、无功能、参数不符合要求），而90%的器件则是引入潜在性损伤，损伤后电参数仍符合规定要求，但减弱了器件抗过电应力的能力，在使用现场容易出现早期失效。 一、ESD基本知识 * ESD引起半导体器件损伤，使器件立即失效的几率约10%（短路、开路、无功能、参数不符合要求），而90%的器件则是引入潜在性损伤，损伤后电参数仍符合规定要求，但减弱了器件抗过电应力的能力，在使用现场容易出现早期失效。 静电损伤是一种偶然事件，一般讲是与时间无关的，所以不能通过老练筛选方法加以剔除，相反，在老练过程中，由于器件接地不良，不适当地传递，老练设备不适当地连接等反而会提高ESD失效的百分比。 器件的ESD失效特征 一、ESD基本知识 * 热熔化 介质击穿 ESD引发EO