DLCProcessLearning_20150624分析.pptx

DLC (Diamond like Carbon) Learning;Per the KO of 2015 Q2, there is one objective for DLC coating Process learning Understand the DLC Process Understand the application of DLC coating Below is the study notes ;DLC类金刚石薄膜具有与高硬度的金刚石相似的物性,是一种含有聚合氢的非晶体碳膜(a-C:H). 由于具有耐磨和低摩擦系数,而成为固体润滑薄膜材料. 成分由SP3键合的四面体金刚石结构,SP2键合的平面石墨结构以及聚合氢的混合构成. 薄膜特性;天然金刚石与DLC薄膜材料的力学性能比较;CVD化学气相沉积(Chemical vapor deposition) 热丝CVD法, 微波等离子体CVD(MWPCVD) RF射频等离子CVD法, 直流弧光等离子体CVD法, 直流脉冲等离子体CVD法,5)微波等离子体CVD法。 PVD物理气相沉积(Physical vapor deposition) 脉冲激光沉积(Pulsed laser deposition);典型情况：甲烷和氢气混合作为反应源气体输送到被加热的反应室内，在衬底上方平行地放置有一根或多根依靠通电加热到20000C以上高温的钨丝。 甲烷输运到热钨丝附近被分解，在温度适当控制的衬底表面上沉积金刚石薄膜，沉积速率约为1m/h。 热钨丝的作用：提供热量导致甲烷的分解；加热了衬底，利于金刚石薄膜的沉积。;石英管为反应室； 反应气源：甲烷和氢气，反应室的顶部输入； 用于沉积的衬底置于衬底座上，频率为2.45×109Hz的微波在反应室的中部有波导馈入，形成辉光放电区，在衬底上沉积金刚石薄膜。 微波PCVD法生长速率慢，但可制备高品质金刚石薄膜，适合于金刚石膜的外延生长和掺杂等。;不同DLC镀的特性;Me-DLC镀膜特性-附着性;Me-DLC镀膜特性-硬度;Me-DLC镀膜特性-耐温性;Me-DLC镀膜特性-摩擦系数;Me-DLC镀膜特性-耐蚀性;Me-DLC镀膜特性-耐磨耗性;Argor-Aljba公司 PVD涂层的性能及应用;Argor-Aljba公司的涂层技术相比传统的DLC涂层;Argor-Aljba公司的DLC涂层工具钻孔测试结果;Argor-Aljba公司的DLC涂层工具铣床测试结果;DLC薄膜材料的产业化应用;