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光 栅 6.3 光栅 6.3.1 光栅的结构 光栅是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。 标尺光栅一般固定在机床活动部件上(如工作台上),光栅读数头装在机床固定部件上。 指示光栅装在光栅读数头中。当光栅读数头相对于标尺光栅移动时,指示光栅便在标尺光栅上相对移动。标尺光栅和指示光栅的平行度以及两者之间的间隙(0.05~0.1mm之间)要严格保证。 (1)光栅尺 光栅尺是指标尺光栅和指示光栅,如图所示,它们是用真空镀膜的方法光刻上均匀密集线纹在透明玻璃片或长条形金属镜面。光栅的线纹相互平行,线纹之间的距离(栅距)相等。对于圆光栅,这些线纹是等栅距角的向心条纹。栅距和栅距角是光栅的重要参数。 6.3.1 光栅的结构 (2)光栅读数头 光栅读数头又叫光电转换器,它把光栅莫尔条纹变成电信号。光栅读数头都是由光源、透镜、指示光栅、光敏元件和驱动电路组成。光栅读数头还有分光读数头、反射读数头和镜像读数头等几种。 6.3.1 光栅的结构 莫尔条纹演示 当指示光栅上的线纹和标尺光栅上的线纹成一小角度θ放置两个光栅尺时,造成两光栅尺上线纹相互交叉。在光源的照射下,交叉点附近的小区域内黑线重叠,形成黑色条纹,其它部分为明亮条纹,这种明、暗相间的条纹称为莫尔条纹。 6.3.2 光栅的工作原理 由光学理论可以得到长光栅的斜率为: 式中:W1—主光栅的光栅常数 W2—指示光栅的光栅常数; θ—两光栅栅线的交角。 6.3.2 光栅的工作原理 W≈P/θ 用W表示莫尔条纹的宽度,P表示栅距,θ表示光栅线纹间的夹角 莫尔条纹特性: (1)用平行光束照射光栅时,莫尔条纹由亮带到暗带,再由暗 带到亮带,透过的光强度分布近似于余弦函数。 (2)起放大作用 用W表示莫尔条纹的宽度,P表示栅距,θ表示光栅线纹间的夹角,则有 W=P/sinθ 由于θ角很小,sinθ≈θ,则 W≈P/θ 若P=0.01mm,θ=0.01弧度,则由上式可得W=1mm,即把光栅距转换成放大100倍的莫尔条纹宽度。 6.3.2 光栅的工作原理 (3)起平均误差作用。 莫尔条纹是由若干光栅线纹干涉形成,例如100线/mm的光栅,10mm宽的莫尔条纹就由1000条线纹组成,这样栅距之间的相邻误差就被平均化了,消除了栅距不均匀造成的误差。 (4)莫尔条纹的移动与栅距之间的移动成比例。 当光栅移动一个栅距时,莫尔条纹也相应移动一个莫尔条纹宽度W;若光栅移动方向相反,则莫尔条纹移动方向也相反。莫尔条纹移动方向与光栅移动方向垂直。这样测量光栅水平方向移动的微小距离就用检测垂直方向的宽大的莫尔条纹的变化代替。 6.3.2 光栅的工作原理 6.3.3 光栅在数控机床中的应用 在数控机床中的光栅测量系统的组成如图所示,光栅移动时产生的莫尔条纹由光电元件接受,然后经过位移-数字变换电路形成正走时的正向脉冲或反走时的反向脉冲,由可逆计数器接收。位移-数字变换电路也叫光栅测量电路或叫四倍频细分电路。 上图中的a、b、c、d是四块光电池,产生的信号,相位彼此差90°。a、c信号是相位差180°的两个信号,送入差动放大器放大,得sin信号。将信号幅度放大得足够大。同理b、d信号送入另一个差动放大器,得到cos信号。sin、cos信号经整形变成方波A和B,A和B信号经反相得C和D信号,A、B、C、D信号再经微分变成窄信号A′、B′、C′、D′,即在正走或反走时每个方波上升沿产生窄脉冲,由与门电路把0°,90°,180°,270°四个位置上产生的窄脉冲组合起来,根据不同的移动方向形成正向脉冲或反向脉冲,用可逆计数器计数,测量光栅的实际位移。 6.3.3 光栅在数控机床中的应用 6.3.3 光栅在数控机床中的应用 6.3.3 光栅在数控机床中的应用 第6章 位置检测装置 6.1 位置检测装置概述 6.2 脉冲编码器 6.3 光栅 6.1 位置检测装置概述 组成:位置测量装置是由检测元件(传感器)和信号处理装置 组成的。 作用:检测各种位移和速度,发送反馈信号,构成伺服系统的 闭环控制。检测装置是闭环伺服系统的重要组成部分。 闭环控制的数控机床加工精度主要取决于检测系统的精度。位移检测系统能够测量出的最小位移量称为分辨率。分辨率不仅取决于检测装置本身,也取决于检测电路。 数控机床上的检测装置应满足以下要求: (1)满足数控机床
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