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PAGE \* Arabic \* MERGEFORMAT35 / NUMPAGES \* Arabic \* MERGEFORMAT37 惯性导航传感器（翻译版） Neil M. Barbour Charles Stark Draper Laboratory (P-5286) Cambridge, MA 02139 USA 目录 TOC \o 3-5 \t 标题 1,1,标题 2,2  摘要：  PAGEREF _Toc321401641 \h 1 1 简介  PAGEREF _Toc321401642 \h 1 2 惯性传感器技术  PAGEREF _Toc321401643 \h 4 2.1 光学陀螺  PAGEREF _Toc321401644 \h 5 2.1.1 环形激光陀螺 （RLGs）  PAGEREF _Toc321401645 \h 5 2.1.2 光纤陀螺（FOGs）  PAGEREF _Toc321401646 \h 7 2.1.3 微型的光纤陀螺（MFOGs）  PAGEREF _Toc321401647 \h 9 2.1.4 集成光学陀螺（IOG）  PAGEREF _Toc321401648 \h 11 2.2 光学加速度计  PAGEREF _Toc321401649 \h 12 2.3 半球谐振陀螺  PAGEREF _Toc321401650 \h 14 2.4 MEMS惯性仪表  PAGEREF _Toc321401651 \h 15 2.4.1 MEMS加速度计  PAGEREF _Toc321401652 \h 16 2.4.1.1 基于位移的MEMS加速度计  PAGEREF _Toc321401653 \h 16 2.4.1.2 MEMS谐振式加速度计  PAGEREF _Toc321401654 \h 19 2.4.1.3 静电悬浮式MEMS加速度计  PAGEREF _Toc321401655 \h 20 2.4.2 MEMS陀螺  PAGEREF _Toc321401656 \h 21 2.4.2.1 MEMS振动梁陀螺仪  PAGEREF _Toc321401657 \h 22 2.4.2.2 振动平面式MEMS陀螺  PAGEREF _Toc321401658 \h 23 2.4.2.3 谐振环型陀螺  PAGEREF _Toc321401659 \h 25 2.4.2.4 非传统MEMS陀螺的发展  PAGEREF _Toc321401660 \h 26 2.4.3 多轴陀螺和加速度计芯片  PAGEREF _Toc321401661 \h 27 2.5 冷原子传感器  PAGEREF _Toc321401662 \h 28 2.6 未来展望  PAGEREF _Toc321401663 \h 30 致谢：  PAGEREF _Toc321401664 \h 34 惯性传感器 惯性传感器 PAGE \* Arabic \* MERGEFORMAT1 / NUMPAGES \* Arabic \* MERGEFORMAT36 摘要： 在很多导航应用领域，最重要的问题不是提高导航系统的精度/性能，而是在满足性能需求的前提下来降低成本和减小体积。特别是小型导航传感器的微小尺寸使得制导、导航、控制技术能够应用到以前认为是不可能应用的场合（例如炮弹、个人导航）。环形激光陀螺（RLGs）、光纤陀螺（FOGs）和微机电系统（MEMS）陀螺及加速度计这三大技术推动了导航技术在军事和商业领域的发展。这些技术几乎在所有的高精度领域已经取代了绝大部分的机械陀螺和许多的加速度计。由于机械陀螺是一种相当成熟的技术，在此不再赘述。尽管光纤陀螺技术仍然在持续发展，但是环形激光陀螺和光纤陀螺技术也已经成熟了。我们可以基于光子晶体光纤的低损耗和它所提高的最小弯曲半径极限来进一步缩小光纤陀螺的体积，获得很高的性能。半球形的谐振陀螺（HRG）技术也是一项成熟的技术，它在空间应用中的利基市场已做过简要的介绍。微机电系统技术现在在商业级水平得到了广泛的应用，并开始向着战术性能水平迈进。这些技术都是以使用科氏振动陀螺原理而进行设计的各种类型的微机电系统陀螺为基础的。然而它们（HRG和MEMS）在战术级别上的性能却比不上环形激光陀螺（RLGs）和光纤陀螺（FOGs）。在惯性领域持续进展的基础上，光纤陀螺、微机电系统陀螺和加速度计这些领域也随之获得了技术上的发展。由于MEMS技术仍然是一个非常活跃的研发领域，本文将重点放在