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第一章：电子光学基础 1 Ariy斑如何形成？ Airy斑：物体上的点通过透镜成像时，在像平面上得到的是一个中心最亮、周围带有明暗相间同心圆环的圆斑，即所谓Airy斑 2 简述产生像差的三种原因。 像差 可分为几何像差和色差，而几何像差主要指球差和像散 球差：由于电磁透镜的中心区域和边缘区域对电子的折射能力不同造成，离开透镜主轴较远的电子比主轴附近的电子被折射程度大。 像散：由透镜磁场的非旋转对称而引起的，使其在不同方向上的聚集能力不同。 极靴内孔不圆、上下极靴的轴线错位、制作极靴的材料材质不均匀以及极靴孔周围局部污染等原因，都会使电磁透镜的磁场产生椭圆度。非旋转性对称，会使它在不同方向上的聚焦能力出现差别，结果使成像物点p通过透镜后不能在像平面上聚焦成一点。 色差：由于入射电子波长(或能量)的非单一性所造成的，能量大的电子在距透镜光心比较远的地方聚焦，能量低的电子在较近的地方聚焦。 3 何为电磁透镜的焦长及景深，有何用途？ 焦长：当物平面固定时，像平面前后移动成清晰像时允许移动的最大距离。（当透镜焦距和物距一定时，像平面在一定的轴向距离内移动，也会引起失焦。如果失焦引起的失焦斑尺寸不超过透镜因衍射和像差引起的散焦斑大小，那么像平面在一定的轴向距离内移动，对透镜像的分辨率没有影响。我们把透镜像平面允许的轴向偏差定义为透镜的焦长，）用DL表示 用途：底片移动范围在焦长范围内都可呈清晰像。 景深：当像平面固定时，物平面前后移动能呈清晰像时所允许的最大移动范围。用Df来表示 用途：如果样品厚度适合，那么在透镜景深范围之内，可以移动物平面，从而使样品各部位的细节都能得到清晰的图像 4 对比光学显微镜与电磁显微镜分辨率。 光学显微镜：△r0=0.61λ/n*sinα；λ=3900—7600 ?，孔径半角α=70—75°，n=1.5，得△r0=2000 ? 电磁显微镜：分辨本领由衍射效应和球面像差来决定。当衍射效应Airy斑和球差散焦斑尺寸大小相等时△r0=A*λ3/4 Cs1/4, A=0.4-0.55，λ=0.0251 ?，得△r0=2 ? 可见电磁透镜比光学显微镜分辨率要高至少103的数量级 补充题：光学显微镜与透射电镜成像区别 ? 波长 分辨率 聚焦 优 点 ? 缺点 光学显微镜 3900 ~7600? 2000? 直线聚焦 简单，直观 ? 只能观察表面形态，不能做微区成份分析。 (射线衍射仪 0.1~100 ? ? 无法聚焦 相组成分析，简单，精确 ? 无法观察形貌 电子显微分析 0.0251 ? (200kV) 1.8 ? 螺旋聚焦 组织分析，物相分析（电子衍射)， 成分分析（能谱，波谱，电子能量损失谱 ） ? 价格昂贵 不直观 操作复杂； 样品制备复杂。 第二章：透射电子显微镜 6 画出电镜结构原理图，简述每个部件的作用。 7 何谓点分辨率、晶格分辨率、放大倍数，其测定方法？ 点分辨率：能分清两个独立粒子之间的最小间距。方法：碳膜喷金（将金属用真空蒸发的方法得到粒度为5-10 ?，间距为2-10 ?的粒子，将其均匀分布在碳支持膜上，在高放大倍数下拍摄这些粒子像）Au真空蒸发镀膜 晶格分辨率：能分清两晶面的最小间距。方法：利用定向单晶薄膜做标样，利用晶格衍衬像测定。 放大倍数：像平面与物平面距离之比。方法：利用光栅测定。用衍射光栅作为标样，在一定条件下拍摄标样的放大像，然后从底片上测量光栅条纹像的平面间距，与实际条纹相比，即可得到放大倍数。 第三章：复型技术 8 简述塑料一级复型、碳一级复型、塑料－碳－喷铬二级复型制作步骤，对比各有何特点。 塑料一级复型：材料：塑料，厚100－200nm A、配塑料溶液 B、滴溶液与样品上 C、取下薄膜 d、剪切（3mm小方块）特点：易分解、烧损，分辨率20nm。 碳一级复型：材料：碳，厚10nm A、真空垂直喷碳 B、分割（对角线小于3mm小方块）、电解腐蚀溶下 C、烘干。特点：破坏试样表面，膜易碎，分辨率2-5nm，衬度差 塑料－碳－喷铬二级复型：材料：塑料，碳，铬 A、做塑料一级复型B、在塑料一级复型上做碳一级复型C、真空倾斜喷铬 d、溶解塑料 特点：衬度好，不破坏样品。稳定，不易分解，分辨率与塑料一级复型相同 9 简述质后衬度成像原理。 对于非晶薄膜样品，入射电子透过样品时碰到的原子数目越多(或样品越厚)，样品原子核库仑电场越强(或样品原子序数越大或密度越大)，被散射到物镜光阑外的电子就越多，而通过物镜光阑参与成像的电子强度也就越低。即强度为I0的入射电子穿透样品后，参与成像的电子强度I随总散射面积Q和样品厚度t的乘积呈指数衰减，I= I0*e-Qt 10 计算2种复型样品相对衬度（见书）。 若复型是同种材料制成，以IB为像背