传感器技术第2章-电阻式传感器剖析.ppt

若将电桥四臂接入四片应变片，即两个受拉应变，两个受压应变，将两个应变符号相同的接入相对桥臂上，构成全桥差动电路。 电路优点： Uo与ΔR1/R1成线性关系，差动电桥无非线性误差； 电压灵敏度KU=U/4，是单臂工作时的四倍； 具有温度补偿作用 若ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4， 且R1=R2=R3=R4，则 ： 第２章　　电阻式传感器 当负载为有限值时： 电桥内阻 输出电流 第２章　　电阻式传感器 2. 交流电桥 　　由于供桥电源为交流电源，引线分布电容使得二桥臂应 变片呈现复阻抗特性： 第２章　　电阻式传感器 由交流电路分析可得： 要满足电桥平衡条件，即Uo=0，则有： Z1Z4=Z2Z3 将Z1、Z2、Z3、Z4表达式代入，可得： 整理得 ： 其实部、虚部应分别相等，并整理可得交流电桥的平衡条件为 ： 及 第２章　　电阻式传感器 常见交流电桥平衡调节电路 第２章　　电阻式传感器 2.3 压阻式传感器 20世纪50年代中期出现，由半导体应变片制成，其灵敏系数比金属电阻式传感器高几十倍，而且具有体积小、分辨率高、工作频带宽、机械迟滞小、传感器与测量电路可实现一体化等优点，在实际中应用广泛。 2.3.1 工作原理 基于半导体材料的压阻效应原理：当对半导体材料施加应力作用时，半导体材料的电阻率将随着应力的变化而发生变化，进而反映到电阻值也发生变化。 第２章　　电阻式传感器 其中由材料几何尺寸变化而引起电阻的变化 很小，可忽略不计，而 一项很大，也就是说，半导体材料电阻的变化主要由半导体材料电阻率的变化所造成的，即： 对半导体应变片： ≈ 又弹性模量 故： 　可见，当半导体应变片受到外界应力的作用时，其电阻(率)的变化与受到应力的大小成正比，这就是压阻传感器的工作原理。 第２章　　电阻式传感器 2.3.2 影响压阻系数的因素 1. 应力的作用方向 半导体的晶向 由于半导体材料的各向异性，在实际应用中，随着外界应力施加方向的不同其压阻系数也是不同的。 通常根据外界应力相对晶轴的方向，分为纵向应力 和横向应力 ，当半导体同时受到两向应力作用时，有： 第２章　　电阻式传感器 2. 扩散杂质的表面浓度 可见压阻系数随扩散杂质浓度的增加而减小，表面杂质浓度相同时，P型硅的压阻系数值比N型硅的(绝对)值高。 压阻系数与表面杂质的浓度的关系 第２章　　电阻式传感器 3. 环境温度 压阻系数与温度的关系 第２章　　电阻式传感器 2.3.3 压阻式传感器的材料 一般半导体应变片是沿所需的晶向将硅单晶体切成条形薄片，在硅条两端先真空镀膜蒸发一层黄金，再用细金丝分别与两电极焊接。 常用于制作半导体应变片的半导体材料主要有：硅、锗、锑化铟、砷化镓等。 第２章　　电阻式传感器 由半导体材料制成的压阻式传感器的灵敏系数比金属电阻应变片要大几十倍，其应变系数的符号随单晶材料的导电类型而异，一般P型为正，N型为负，而金属丝应变片的灵敏系数均为正值。此外，半导体材料(如单晶硅)是各向异性材料，它的压阻系数与晶向有关。 压阻式传感器的主要不足：一是温度稳定性差(电阻值随温度变化)；二是灵敏度的非线性较大，可造成测量体具有±3%～5%的误差，因此在使用时需采用温度补偿和非线性补偿等措施。 特性总结 第２章　　电阻式传感器 2.4 电阻式传感器的应用 电阻式传感器应用范围很广，主要用于检测力、压力、扭矩、位移、加速度等参数。 1. 电位器式压力传感器 电位器式压力传感器是利用弹性元件(如弹簧管、膜片或膜盒)把被测的压力信号变换为弹性元件的位移，然后再将此位移转换为电刷触点的移动，从而引起输出电压或电流相应的变化。 第２章　　电阻式传感器 YCD—150型远程压力 传感器原理图 膜盒电位器式压力 传感器原理图 第２章　　电阻式传感器 2. 压阻式压力传感器 固态压力传感器 结构图 硅杯上法线[110]晶向的膜片 第２章　　电阻式传感器 3. 应变式测力传感器 1) 柱(筒)式力传感器 柱式传感器分为柱形和圆筒形两种，应变片一般对称地贴在应力均匀的圆柱表面的中间部分，可对称地粘贴多片，构成差动式，提高了灵敏度，横向粘贴的应变片同时作为温度补偿。 在F作用下轴向应变为： E为杨氏模量（N/m2） 第２章　　电阻式传感器 柱式力传感器的截面积随载荷改变可导致非线性，需对此进行补偿。 筒式