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V2O5及其电学性能研究研讨
磁控溅射法制备V2O5及其电学性能研究 主讲人:刘亚 1 综述 研究的背景 钒在自然界的储量丰富,原子序数为23,由于其具有多种价态 ,因而可形成多种氧化物,目前发现的有十余种,如VO,VO2,V2O5等。其中V2O5由于其具有适合容纳大量Li+的层状结构及相对较高的电位(约3.5V vs Li+/Li)而长期被人们当做锂离子电池的阴极材料研究。 晶态V2O5在嵌锂过程中其物相LixV2O5的变化。 晶态V2O5的循环伏安曲线 V2O5薄膜常用的制备方法 V2O5薄膜制备常用的方法有溶胶-凝胶法,化学气相沉积法以及磁控溅射法等。 不同制备方法在不同实验条件下制备的 V2O5薄膜具有不同的光学和电学性能。 磁控溅射法制备的优点 实验过程中反应条件易于控制,成膜效率高,均匀性好,薄膜与基地的附着能力强,无污染。 磁控溅射中参数对实验结果的影响 在溅射过程中,主要需要控制的参数有溅射时间,氧分压,及溅射功率。 溅射时间对V2O5薄膜的影响 张圣斌,左敦稳等人研究了其他实验参量不变,溅射时间不同对薄膜结构,薄膜厚度,表面形貌,电学的影响。 结果表明,随着溅射时间的增长,结晶性能逐渐变强,晶粒尺寸也逐渐变大,薄 膜 的 厚 度 逐 渐 增 加。 氧分压对V2O5薄膜的影响 刘凤举,方梅等人研究了氧分压对薄膜成分的影响,其结果表明氧气体积分数低于 15%时,玻璃上薄膜为低价钒氧化物;高于 20%时两基底上薄膜均为 V2O5。 溅射功率对V2O5薄膜的影响 P. Deepak Raja, Sudha Guptab, M. Sridharan等人在室温下在50W到70W之间制备了V2O5薄膜。其研究表明,随着溅射功率的提高可以相应地提高薄膜的结晶度。 2研究方案 * * * 模板来自于 * 综述 01 研究方案 02 CONTENTS LixV2O5相随着锂插入 V2O5中的程度及 ω 相的转变演化图 扫描电压范围为-0.2V~0.6V vs. Ag/AgCl,扫描速度为 0.01V/s 磁控溅射原理图 用磁控溅射法制备晶态V2O5及非晶态 V2O5 用XPS,XRD,SEM 等测试方法对其表面及结构 进行分析 将所得的两种材料组装成电池 测试其电学性能 对所得的材料进行掺杂等改性 研究以提高其电学性能 * * 模板来自于 * * *
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