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总复习;1. 基本概念;阿贝成象理论（Abby’s Theory of Image Formation）;图像衬度（Image Contrast）;分辩力（Resolution）;2. 电子衍射;2.1. 基本概念 (1) 厄瓦尔德球 (2) 衍射斑点的强度: (3) 衍射花样的类型： 非晶试样 晶体试样:;电子衍射与X射线衍射的比较 ;2.2 简单SAD花样的标定（Indexing of simple SAD patterns）;3. 衍射衬度理论;3.1 基本假设;运动学理论的基本假设;运动学公式 : ;动力学理论（Dynamic Theory）:;如果 sg = 0, 则 |Fg |2 = (pt/?g)2 假定 ?g/p 则有 |Fg |2 1 这与能量守恒定律矛盾！ 即, 理论失效!! 所以, |sg| 0, or t ?g/p;3.3. 完整晶体的特征图像 ;4. 晶体缺陷分析;5.1.2 运动学公式和动力学公式;4.2 位错 4.2.1完全位错 不可见准则 柏氏矢量的确定 完全位错的衬度特征： 位错核心一侧的一条黑线 靠近表面的位错 衬度和图像宽度;不可见准则（Invisibility Criteria）;Image width of dislocations;运动学理论:;4.2.2 弱束暗场技术;For the Edwald sphere cutting the low of systematic reflections g at ng (n not necessary integer), the value of s is given by s = (n-1) g2 / 2K where K = 1/?;4.2.3 不全位错 非常复杂，衬度还受层错的影响！;Partial dislocations in fcc crystals;4.3 层错;1）平行于薄膜表面的层错衬度特征为，在衍衬像中有层错区域和无层错区域 将出现不同的亮度，层错区域将显示为均匀的亮区或暗区。 2）倾斜于薄膜表面的层错，其衬度特征为层错区域出现平行的条纹衬度。 明场 对称性，上下表面;4.4 第二相粒子的衬度;4.4.1 基体衬度（Matrix contrast）;5. 高分辩电镜（HREM）;5.1. 入射束试样交互作用;5.2. 分辩率极限（Resolution Limit）;Spherical aberration;Chromatic aberration;Astigmatism;衍射和球差限制的分辩率;D = 2fa ;点分辩率（Point to point resolution） 线分辩率（Line to line resolution） 最佳欠佳量（Optimum defocus）:;高分辩电镜图像可提供的信息;6. 分析电镜;优良SEM影像的拍摄要点 SEM的观察的主要过程是：①小倍率选区；②高倍率放大；③移动样品至适当位置，调焦；④调亮度和反差至最佳；⑤拍摄。1.聚光镜电流的选择聚光镜电流的大小将直接影响到电子束的亮度和光斑直径的大小，也影响成像的分辨率和反差。在保证足够的观察条件、拍摄的亮度和反差的需要下，应尽量使聚光镜电流稍为大一些，以获取较小的电子束流探针直径，得到较高分辨率；但聚光镜电流又不可太大，太大则使电子束流能量太低，信号与噪声的强度比（信噪比）下降，影像也会平淡无力,缺少立体感。故聚光镜电流的调节应和亮度与反差相配合。2.亮度和反差的调节既不可一味追求高亮度，也不可一味追求高反差。这两者要配合调节。高反差能增加立体感，但却损失了许多细节，所以在保证较好反差的情况下，要调出足够的灰度等级。SEM上常设有亮度及反差的调节指示表。操作者可根据指示表去调整，参照自己观察对象的目的需要，适当地给予补偿。3.加速电压的选择加速电压的提高，纵然可以增大电子束的能量，提高信噪比和反差，这只是一个单方面的因素，从另一方面考虑，也会增加背散射电子的数目和电子束的穿透力,这样影像中物体边缘的锐利度会降低，也将使分辨力下降。 通常可以根据影像质量和拍摄需要进行选择。4.样品倾斜度和光阑孔径的选择样品台除可向X、Y方向移动外，还可以做一定量的倾斜。倾斜样品台等于让电子探针从侧面轰击样品，就象日