真空基础培训-简单答案.ppt

;;什么是真空?;压力等价;物质的四种状态;;真空的应用;;大气由各种可凝和不可凝气体组成. 组成总压力的各种独立气体的压力成为分压. 在大气环境中，我们会发现：;真空范围;真空范围;真空范围;气流;; 总气载;气载 ;定义;烘烤出气;材料渗透;真空系统的连接: KF 法兰;真空系统的连接: 金属密封;真空系统连接: ISO法兰;流导;注意: 以上条件是清洁,干燥,抽速稳定. ;;真空泵的相应指标;粗抽泵;油封式旋片泵;油封式旋片泵;瓦里安旋片泵;涡卷式干泵;涡卷式干泵;涡卷技术 – 双级设计;涡卷干泵;涡卷技术;涡卷技术 ;隔膜泵;隔膜泵工作原理;隔膜泵工作原理;隔膜泵的工作原理;罗茨增压泵;;高真空/超高真空中使用的粗抽泵;粗抽泵注意事项;;粗抽泵对照;高真空泵;油扩散泵;油扩散泵;扩散泵的基本工作原理 – 基本设计;瓦里安喷射塔;扩散泵的基本工作原理-分馏塔 ;扩散泵的基本工作原理 –分馏塔;扩散泵的基本工作原理 –分馏塔;;扩散泵的基本工作原理 – 前级管道设计;扩散泵的基本工作原理- 最大前级耐受压力;;涡轮分子泵;瓦里安的分子泵家族;;涡轮分子泵; 分子拖动级的工作原理;拖动级原理;冷冻泵;冷冻泵;10-12;高真空泵对照;超高真空泵;钛升华泵-Titanium Sublimation Pump;钛升华泵;钛升华泵原理;钛源;钛升华泵;钛升华泵抽速;离子泵;离子泵;;离子泵工作机理 ;;工 作 原 理;二极和三极示意图;离子泵特性;离子泵对于不同气体的性能;;钛升华冷板; 真空规;热传导规;热偶规结构;热偶规测量结构;工作原理;热传导规;电容薄膜真空规;热灯丝离子规;;UHV 离子规（裸规）;冷阴极规;;冷阴极规工作原理; 宽量程从 1 x 10-2 到 1 x 10-9 mbar 牢固, 快速, 廉价, 易维护 测量误差 30 - 50% 气体种类取决于 (修正系数);;超高真空规的选择;超高真空规的选择;超高真空规的选择;超高真空规的选择;超高真空规的选择;超高真空规的选择;超高真空规的选择;超高真空规电缆的选择;真空规控制器;泄漏及 检漏技术;漏孔是指在容器的器壁，不期望的一个开口、小孔、或者是多孔的结构，使得气体或液体可以通过它进入或流出。 ; 检漏技术是用来保证元器件或系统的密闭性可以满足某种标准的一种方法;检漏测试的方法;;对气密性的理解;常见的泄漏的实例;泄漏的种类;检漏仪与系统的连接处 过去经常出问题的元器件 经常沿着密封表面运动的密封件 阀门的动密封 旋转部件的动密封 舱门的密封 波纹管轴的密封 真空管道上的柔性连接 螺纹连接处 静密封，如观察窗，引线端 焊点（特别是钎焊的焊点）;体积1升;1 x 10-1 atm cc/sec. 1 X 1 x 10-2 atm cc/sec. 10 X 1 x 10-3 atm cc/sec. 100 X 1 x 10-4 atm cc/sec. 1,000 X 1 x 10-5 atm cc/sec. 10,000 X 1 x 10-6 atm cc/sec. 100,000 X 1 x 10-7 atm cc/sec. 1,000,000 X 1 x 10-8 atm cc/sec. 10,000,000 X 1 x 10-9 atm cc/sec. 100,000,000 X 1 x 10-10 atm cc/sec. 1,000,000,000 X 1 x 10-11 atm cc/sec. 10,000,000,000 X;为什么选择氦气作为示踪气体?;He是一种标准元素，原子质量数为4。 空气中He的本底浓度非常低，使得He质谱计的本底噪声信号小，因此He作为检漏工作气体成分在实际应用中是非常理想的。 无论在哪里，He气的获得都不是件很困难的事情。 无毒。 非可燃性气体。 惰性气体，不易发生化学反应。 氦气可以存储在各种尺寸的圆筒容器内，并且最高纯度能够满足最为苛刻的医用要求。 满足无损检测要求;精确地测量漏率 (喷枪法/真空法) 只有当氦气加在漏点上的时间大于5倍的时间常数后，检漏仪显示的漏率才等于实际漏率 在漏点处，氦气必须充分置换空气，以精确地测量漏率;;接地;;;;高灵敏度(Short Appearance time);; 吸枪检漏法 对各种内部压力高的系统进行检漏（如气体输运管或者高压容器） 对真空流导较差或者内部可能存在饱和蒸汽压较高（如水循环冷却管道等）的系统进行检漏;系统总漏率测量（定量） 内真空检测 / 内充氦检测 可承受15 psi（约103kpa）内外压差的密封真空器件（例如