电容传感器总结.pptxVIP

4.7　电容式传感器 ; 2.工作原理　　电容式传感器实质上是一个可变参数的电容器。由物理学可知，用绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，当忽略边缘效应时，电容量可表示为式中：ε、ε0——极板间介质和真空的介电常数(ε0=8.85×10－12 F/m)；　　εr——极板间介质的相对介电常数，对于空气介质εr≈1；　　A——极板相互覆盖的面积；　　δ——极板间的距离。;图 (a)和(b)为变极距式； 图 (c)～(h)为变面积式； 图 (i)～(l)则为变介电常数式。;一、间隙变化型 ; 当Δδ为小值时，在ΔC/C与Δδ/δ之间可近似为一线性关系。如当Δδ/δ =0.1时，按（4.39）式计算所得的线性偏差为10%，而当Δδ/δ =0.01时，该偏差降至1%，因此对小的间隙变化，式（4.39）可进一步舍去二次项，从而可得电容变化量 电容传感器的灵敏度 ： 实际应用中为提高传感器的灵敏度，常采用差动式结构。 由此可得灵敏度 ;二、面积变化型 ; 图中(b)为通过线性位移改变电容器极板面积的型式。当动电极在x方向有位移Δx时，极板面积的改变量将是 电容的改变量将是 其灵敏度 可见该灵敏度为一常数，因此输入、输出关系为线性。 ; 图中(a)为转角型结构，当改变两极板间的相对转角时，两极板的相对公共面积发生变化。由图可知，该公