17-5 薄膜干涉-等厚条纹.ppt

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同学们好!;n1; 当 i 保持不变时,光程差仅与膜的厚度有关,凡厚度相同的地方光程差相同,从而对应同一条干涉条纹---;为此,明纹和暗纹出现的条件为:;二、劈尖膜;2.明暗条纹条件;(2)相邻明(暗)纹对应薄膜厚度差:;4.条纹变化;应用1:测量微小直径,厚度; 例1 在半导体元件生产中,为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度,将该膜的一端腐蚀成劈尖状,已知SiO2 的折射率n =1.46,用波长? =5893埃的钠光照射后,观察到劈尖上出现9条暗纹,且第9条在劈尖斜坡上端点M处,Si的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。;应用2:检测工件平面的平整度;例2 利用空气劈尖的等厚干涉条纹可以检测工 件表面存在的极小的加工纹路, 在经过精密加工的工件表面上放一光学平面玻璃,使其间形成空气劈形膜,用单色光照射玻璃表面,并在显微镜下观察到干涉条纹,;解:如果工件表面是精确的平面,等厚干涉??纹应该是等距离的平行直条纹,现在观察到的干涉条纹弯向空气膜的左端。因此,可判断工件表面是下凹的,如图所示。由图中相似直角三角形可: ;所以: ;牛顿环干涉图样;2.明暗纹条件;4.明暗纹半径;得;应用:测量透镜的曲率半径;谢 谢

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