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第七章 电子光学基础;§7-1 电子波与电磁透镜; 分辨率:显微镜将成像物体上能分辨出来的两个 点之间的最短距离,称之为分辨率。 △r。≈1/2λ 注意:这个距离指的是物体上的两个点,而不是 像上的点。例:人眼的分辨率0.15mm左 右。 2. 影响分辨率的主要因素 由分辨率△r。≈1/2λ可知,照明光源的波 长越短,分辨率越高。 光学显微镜以可见光为照明光源,可见光的波长 范围在390~760nm。因此光学显微镜的最大分辨率为200nm(2000埃)。;;; 当U很高时,电子运动速度极高,则质量m不能近似为静止质量m。,还需用相对论来校正,即: 当v很大时, 由表8-1可知:电子波的波长远小于可见光(约4~5个数量级);; 假设磁场是均匀磁场,磁力线是平行的。 ⑴ 当电子的运动方向v与磁力线B方向一??时, 它不受磁场作用,f=qvBsin0=0; ⑵ 当电子的运动方向v与磁力线B垂直时 力的大小: f=qvBsin90°=qvB (力大小) 力的方向:由右手螺旋定则决定(向心力) 电子运动轨迹:圆,其半径: v。——电子运动速度 H—— 磁场强度 右手螺旋定则——右螺旋由正电荷运动的方向经过 小于180°的角转到磁场方向,右螺旋前进的方 向(大拇指指向)为洛仑兹力的方向。 ; ⑶ 当电子运动方向v与磁场方向B成一定角度时 电子运动速度矢量可 平行于磁力线速度(vz) 分为两个分速度矢量: 垂直于磁力线速度(vr) 平行于磁力线的速度使电子沿磁力线方向运 动;垂直于磁力线方向的速度分量使电子作圆周 运动,因此电子运动轨迹为螺旋线。;电子从起点出发,运动一周所需的时间为: 由此可见:电子旋转一周所需时间仅与磁场强度有关。 ;2 电磁透镜的聚焦原理 电磁透镜的磁场---轴对称的不均匀分布的磁场 速度为v的电子进入磁场,在A点的受力情况: ① Bz对电子无洛仑兹力作用,电子向前运动; ② Br和v作用使电子做圆周运动,产生切向速度Vt; ③ Vt和轴向磁场Bz作用,使电子受到向主轴靠近的径向力Fr=eVtBz,使电子向主轴偏转。 因此,电子在电磁透镜中的运动轨迹为圆锥螺旋近轴运动。如图8-1 c)所示。;;3. 电磁透镜的焦距与放大倍数 ⑴ 与光学透镜相似,电磁透镜的物距、像距和焦 距之间的关系式为: f——焦距 L1——物距 L2——像距 放大倍数;⑵ 电磁透镜的焦距 其中: K——常数 Ur——经相对论校正的电子加速电压 (IN)——电磁透镜励磁安匝数 由公式可看出: a. Ur改变, f则改变——可变焦(可变倍率) b. f总为正 c. 电磁透镜为变焦、变倍率的会聚透镜。;;;;㈠ 球差——球面像差 概念:对电磁透镜来说,其边缘区域和中心区域对电子的折射能力不同(不符合预定的规律),因此当物点P通过透镜成像时,电子不会聚焦到同一点,而形成一个散焦斑。这种像差称为球面像差。;球差的影响因素和对分辨率的影响 在上图中,由球差造成的最小散焦斑半径用RS表示,折算到物平面上去,△rS=RS/M,也就是说物平面上两点距离小于2△rS时,则透镜不能分辨。 其中: α——孔径半角 α↓可减小球差 CS——球差系数 由此可见,球差的存在使分辨率降低;㈡ 像散

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