12高成明——降低制绒不良,提高合格率精编.ppt

降低制绒不良，提高合格率高成明2010/06/24Step0基本资料高成明刘修银吕岩李源伟工艺试验实施及跟踪生产制绒工序人员工艺试验实施杨军设备技术支持衣兰杰新材料技术沟通姜中华试验物资采购Step1改善主题与目标设定降低制绒不良，使合格率达到国内先进水(0.2%)1）制绒不良情况Step2现状分析2）制绒不良分类-1制绒不良分类-2制绒不良分类-33）制绒不良分布Step3真因分析制绒不良人机环法料班次不同性别差异熟练程度槽体不同温度不准温度湿度溶液流动力度不够硅片表面不够干净硅片晶向有问题化学品纯度不够碱浓度过低温度太高卫生硅片清洗不彻底IPA亲润性不够好花篮设计不合理IPA添加太少溶液流动方式不好Step4对策拟定与实施白斑色差加强硅片清洗1）调整清洗时间和温度2）试用新厂家的清洗剂3）试用SC-1清洗4）高浓度碱粗抛花篮印减少硅片与花篮接触面积减缓反应速度增强溶液流动增强溶液亲润点接触花篮降低制绒温度开启循环泵试用制绒辅助品试用新厂家IPA对策实施甘特图项目第一周第二周第三周第四周第五周第六周第七周第八周调整清洗时间和温度　　　　　　　试用新厂家清洗剂　　　　试用SC-1清洗　　　　　高浓度碱粗抛　　　　　　试用点接触花篮　　制绒降低温度　　　　　　开启循环泵试验　　　　　　试用新厂家IPA　试用制绒辅助品　　　　经试验验证高浓度碱粗抛加制绒辅助品对减少制绒不良有明显效